판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9195648

텔/도쿄 전자 8500PE (TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE) 는 반도체 장치 제작과 다른 연구 개발 응용 분야에서 높은 정확도 프로세스에 사용되는 고급 플라즈마 에처 (asher) 입니다. 플라즈마 강화 반응 챔버 (plasma-enhanced reaction chamber) 를 갖춘 이중 챔버 평행 판 시스템이며, 매우 높은 정확도와 제어로 정확하고 반복 가능한 에칭 연산을 달성 할 수 있습니다. TEL 8500PE는 대화형 그래픽이 내장된 컨트롤러와 자동 과압, 온도, 압력 제어 등 고급 디지털 제어 기술을 활용합니다. 이를 통해 etcher 프로세스의 정확한 제어 및 실행을 허용하고 원하는 etching 성능이 달성됩니다. 도쿄 전자 8500PE (TOKYO ELECTRON 8500PE) 는 또한 높은 이온 에너지 및 전력 밀도를 특징으로하여 최고의 에칭 결과를 보장합니다. "에치 '기, 재료, 그리고 여러 층 의" 에치 마스크' 를 사용 하는 능력 등 을 널리 사용 한다면, 정확 하고 반복 할 수 있는 "에치 '공정 을 이룰 수 있다. 8500PE (Soft-Landing Technology) 는 소프트 랜딩 (Soft-Landing) 기술을 통합하여 단일 주기로 다중 에치 프로세스를 허용하므로 프로세스 효율성을 높입니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE는 온도, 압력 제어, 정확한 과압 제어 등 에칭 프로세스의 정확하고 반복 가능한 현장 진단과 제어를 특징으로합니다. TEL 8500PE 모델의 기계적 설계 (mechanical design) 와 인체 공학적 구조 (ergonomic structure) 는 우수한 진동 감축 기능을 제공하며, 기계는 모든 온도 수준에서 최대 효율성과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 TOKYO ELECTRON 8500PE의 폐쇄 루프 (closed-loop) 디지털 제어는 안전성과 유지 관리 용이성을 유지하면서 최적의 에치 성능을 보장합니다. 요약하면, 8500PE는 반도체 장치 생산을위한 뛰어난 정확성과 정확성을 가진 최첨단 플라즈마 에처입니다. 첨단 디지털 제어 기술, 고출력 집적도 (HPD) 및 소프트 랜딩 (Soft Landing) 기술을 통해 매우 다양하고 안정적이며 유지 보수가 용이합니다. 인체 공학적 디자인은 진동 감쇠뿐만 아니라 사용자 친화적이며 매우 효율적입니다.