판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE는 반도체 생산 시장의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고성능 자동 에처 (etcher) 및 애셔입니다. 단일 챔버를 사용하는 TEL 8500PE (TEL 8500PE) 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 지원하는 다용도 기계로, 높은 처리 속도와 높은 정밀도로 작업을 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON 8500PE에는 최대 200mm 카세트 또는 150mm 300mm 카세트를 수용 할 수있는 2 개의 공압 작동 웨이퍼 카세트가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 카세트는 장비 챔버 (equipment chamber) 에 적재되고, 웨이퍼는 통합 처리 (integrated handling) 로봇을 통해 에칭 또는 애싱 모듈로 전달된다. 로봇에는 비전 (vision) 및 엔드 이펙터 (end-effector) 시스템이 포함되어 있어 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 모듈로 웨이퍼를 정확하게 전송할 수 있습니다. 그런 다음, 에칭 및/또는 어싱 프로세스를 모니터링하고 고급 컨트롤러 시스템을 통해 제어합니다. 이 컨트롤러 장치는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스 레시피, 추적 기능을 통해 운영자가 운영 프로세스를 빠르고, 쉽게 설정, 유지 관리할 수 있습니다. 8500PE는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 도구와 가스를 제공하여 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 고급 배기 가스 복구 머신 (Exhaust Gas Recovery Machine) 을 통해 프로세스 가스의 최대 99% 를 복구하여 환경에 미치는 영향을 줄일 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE는 실리콘, 갈륨 비소 등과 같은 다양한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 여러 가열 구역 (heating zone) 을 갖추고 있어 다양한 공정 온도를 허용하며, 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 전반적으로 TEL 8500PE는 강력하고 강력한 자동 에처 (etcher) 이며 반도체 생산 시장을 위해 특별히 설계되었습니다. 고급 컨트롤러 툴, 프로세스 다양성, 친환경성 (Environmental Friendliness) 을 통해, 현대의 반도체 생산 요구를 충족하는 데 적합합니다.