판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041

텔/도쿄 전자 8500PE (TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE) 는 에칭 과정에서 정확한 제어 및 정밀 패턴을 보장하도록 설계된 에처 및 플라즈마 애셔 머신입니다. 3 축 CNC 모션 컨트롤 시스템을 갖춘 TEL 8500PE는 다양한 샘플 크기에 걸쳐 고품질 결과를 제공하기 위해 특별히 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON 8500PE는 photoresist와 anodic etchy 기술의 조합을 사용하여 anodized etching 패턴을 생성합니다. 8500PE는 +/- 0.02 mm 범위의 evenness와 함께 더 큰 크기의 웨이퍼에 대해 최대 5 ½ m의 정밀 반복 정확도를 지원합니다. 이것은 가장 정확한 장치와 기판에서도 일관된 에칭 결과를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE는 고주파 용량 결합, 독립적으로 분할 된 RF 유도 또는 플라즈마 소스 전원 제어에 대한 PECVD (플라즈마 강화 화학 증기 증착) 제어의 조합에 의존합니다. 추가 UFD (균일 및 기능 밀도) 제어를 위해 TEL 8500PE는 동시 바이어스 및 기판 바이어스 리소스를 사용할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON 8500PE는 입자 적재량이 매우 낮으며 최대 12 CFM (분당 입방 피트) 의 배기 속도를 달성 할 수 있습니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 가 달성 한 최저 온도는 약 10 ° C이며, 다양한 기판 및 응용 프로그램에 유연하고 효율적인 작동을 제공합니다. 8500PE는 쉽고 안전한 작동을 위해 설계되었으며, 몇 가지 안전 기능을 자랑합니다. TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE (TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE) 에는 진공 관측 포트 외에도 원격 액세스 콘솔을 장착할 수 있어 먼 거리에서 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로 TEL 8500PE는 정밀 에칭 및 플라즈마 애싱 프로세스에 이상적인 선택입니다. 단일 웨이퍼 호환성, 3 축 CNC 동작 제어 시스템, 가변 바이어스 및 기판 바이어스 기능은 매우 포괄적 인 에칭 기능을 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON 8500PE의 향상된 안전 기능은 운영 중 최적의 보안 및 보호를 보장합니다.