판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9101856

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE Etcher/Asher는 다양한 재료의 에칭 및 애싱 처리에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 장치입니다. TEL 8500PE (TEL 8500PE) 는 집적 회로 제작, 연구 개발 등에 적합합니다. TOKYO ELECTRON 8500PE는 정전기 척 (electrostatic chuck) 과 특수 비 접촉 감지기 (non-contact susceptor) 를 사용하여 기록, 에칭 및 애싱 작업을 가능하게합니다. "에칭 '과" 애싱' 과정 은 "플레이트 '표면 바닥 에서 화학 물질 을 도입 함 으로써 수행 되며, 이것 을" 에칭' 하거나 "애싱 '할 물질 의 종류 와 결합 시킨다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있으며, 뛰어난 빔 전력은 이미지 정확도를 보장합니다. 또한 8500PE 의 처리량은 198 개 플레이트/시 (hr) 로 최종 결과에서 거의 프로토 타입 품질을 제공합니다. 이 장치는 일관된 결과를 유지하기 위해 최대 890 ° C 의 자동 모니터링 온도로 계속 작동합니다. TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE (TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE) 는 고급 제어 시스템을 제공하며, 사용 중인 재료와 프로세스에 따라 사용자 정의 및 지능적으로 조정되는 운영 매개변수를 제공합니다. 이 장치는 또한 결과의 속도와 정확성을 더욱 향상시키기 위해 다양한 고속 신호 처리 프로그램 (High Speed Signal Processing Program) 을 제공합니다. TEL 8500PE의 챔버 (Chamber) 디자인은 조용 (Quietness) 을 더욱 향상시키고, 정전기의 생성을 방지하는 내부에서 꾸준한 분위기를 유지하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 처리 된 섬세한 부품이 전기 결함에 의해 손상되지 않습니다. 또한, 내구성 있는 "스테인레스 '강철 재료 의 사용 으로 인하여, TOKYO ELECTRON 8500PE 는 부식 과 마모 에 강하며 사용 중 에 뛰어난 내구성 을 제공 한다. 전반적으로, 8500PE는 연구 개발, 반도체 제작, 산업 응용 분야에서 탁월한 결과를 제공하는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 이 장치는 높은 처리량 (throughput capacity) 을 통해 효율성이 높아 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 거의 프로토타입에 가까운 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 최소 소음 및 공기 교란으로 최적의 작동을 가능하게 하는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 및 챔버 (Chamber) 설계를 제공합니다. 내구성 있는 "스테인레스 '재료 의 사용 때문 에 부식 과 마모 에도 강하다.