판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 580 LC #62133

TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asher (TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asher) 는 다양한 프로세스에 적용하기 위해 필름 또는 기타 얇은 샘플을 에칭 또는 세척하기위한 중형 장비입니다. 민감성 필름 또는 유사한 제품을 에치하기 위해 산소 또는 기타 가스를 사용하는 가스 소스 에처 (etcher) 입니다. 혁신적인 시스템은 약 11 리터의 볼륨을 제공하며, 원형 샘플 디자인을 갖추고 있습니다. 이것은 NIL (Nanoimprint Lithography) 및 기타 박막 및 패턴 응용 프로그램과 같은 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장치는 수직 구조로 설계되었으며, 열 순환 시간을 늘리기 위해 더 얇은 상단 커버 (top cover) 와 더 큰 기계적 안정성을 지원하기 위해 더 두꺼운 하단 커버 (bottom cover) 가 있습니다. 이 기계는 또한 상공 챔버 (upper chamber) 에서 고속 가스 흐름을 사용하며 하방 (lower chamber) 에서 낮은 수준의 압력으로 설계되었습니다. 이 조합은 필름 (film) 과 기타 얇은 샘플의 빠른 에칭을 위해 낮은 수준의 압력과 고속 가스 환경을 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 필름 또는 유사 제품의 에칭/애싱 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 통합 디스플레이를 갖추고 있습니다. 여기에는 프로세스의 시간에 따른 프로파일 (압력, 온도, 전류 등) 을 보여 주는 LCD 디스플레이가 포함됩니다. 이 도구는 또한 다양한 외부 장치 (예: 컴퓨터) 와 통합되어 데이터 내보내기 및 분석을 용이하게합니다. 또한, 자산에는 경보 (alarm) 및 LED 표시기 (LED indicator) 와 같은 다양한 안전 기능이 제공되며, 에칭 프로세스와 관련된 잠재적 문제를 운영자에게 경고합니다. TEL 580 LC Asher (TEL 580 LC Asher) 는 다양한 박막 또는 유사 제품을 에칭하거나 세척하기위한 신뢰할 수 있고 다양한 모델입니다. NIL (Nanoimprint Lithography) 및 패턴 작성 등 다양한 응용 프로그램에 사용할 수있는 안전하고 효율적이며 고정밀 장비입니다. 이 시스템은 실험실과 생산 환경 모두에 적합하며, 정확성과 신뢰성이 요구되는 모든 프로젝트에 적합한 선택입니다 (영문).