판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 480 HG #293818880

TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG는 다양한 반도체 제작 프로세스에 사용되는 차세대 에처/애셔입니다. 고급 반도체 장비의 세계적 리더 인 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 의 200mm 열 에칭/애스칭 장비입니다. 자동화된 웨이퍼 처리 및 직관적인 사용자 인터페이스와 같은 고급 TEL/TOKYO ELECTRON 기술을 갖춘 TEL 480 HG는 대용량 제조를 위해 설계되었으며, 반도체 제조의 필수 요소 인 정밀한 프로세스 생산성을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON 480 HG의 고급 기능은 사용자에게 에칭 및 애싱 (ashing) 작업에 대한 탁월한 제어를 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 유닛 (modular unit) 구조와 다양한 프로세스 모듈 (process module) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 해당 프로세스와 애플리케이션에 장치를 구성할 수 있습니다. 모듈식 설계는 사용자가 기판 사전 건조, 에칭, 애싱 (ashing), 포스트 프로세스 클리닝, cryo-etching 등 필요한 시스템 기능과 일치하는 모듈을 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 도구는 또한 고급 TEL 기술을 사용하여 에치 및 애쉬 조작을 최적화합니다. 여기에는 고속 웨이퍼 자동 로더, 열 프로세스의 온도 관리, 프로세스 제어 및 모니터링 기술, 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정하여 자산 성능을 최적화하는 기능이 포함됩니다. 또한, 480 HG는 챔버에서 균일 한 가스 분배를 보장하는 균일 한 플라즈마 생성 모델이자, 열 성능 향상을 위해 모듈 식 플랜트-에어 냉각 장비를 갖추고 있습니다. 다양한 소프트웨어 툴과 수동 제어 설정 (manual control setting) 을 결합한 이러한 기능을 통해 사용자는 에칭/어싱 (etching/ashing) 작업과 관련된 프로세스 시퀀스, 프로세스 매개변수 및 기타 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 유연성과 제어를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업 시 최고 수준의 성능과 정밀도를 달성할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG는 고급 에처/애셔로, 고도로 전문화 된 반도체 제작 공정에서 탁월한 성능과 수율을 제공합니다. 이 시스템의 모듈식 설계, 고급 TOKYO 전자 (TOKYO ELECTRON) 기술 및 정확한 제어 기능을 통해 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적인 툴이 됩니다.