판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM #9128511

TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM (이하 308) 은 최첨단 에처/애셔로, 도달하기 어려운 영역의 고급 에칭 및 청소에 사용하도록 설계되었습니다. 메인프레임에는 선택 가능한 가변 자동 초점 VAS (Laser Scanning Equipment) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 일반 및 리듬 진동 레이저 웨이브로 에치 (eching) 하거나 애쉬 (ashed) 할 영역을 스캔하여 깊이 및 균일 한 커버리지를 보장합니다. 또한, 308은 안전과 깨끗한 작업 환경을 보장하는 고온 배기 후드를 사용합니다. 308은 실제로 올인원 (All-in-one) 장치이며 내장 멀티 가스 피드와 통합 온도 제어 장치가 있습니다. 308은 사용하기 쉽고, 몇 분 안에 설치되며, 읽기 쉬운 다국어 사용 설명서를 포함합니다. 308은 3nm ~ 1.5m에 이르는 깊이에서 금속 및 비금속의 에칭/애싱을 허용합니다. 308을 정말 주목할 만한 점은, 복잡한 3D 패턴과 높은 종횡비 구조를 만들 수 있다는 것입니다. 결과는 엄청나게 정확하고 균일 한 과정입니다. 시간이 지남에 따라. 또한 308에는 자동 파우더 피더, 디지털 옵티컬 모니터링 패키지, 정렬 및 포커스 스코어링 머신, 자동 샘플 검색 도구 등 다양한 액세서리가 있습니다. 따라서 제어 기능이 향상되고 처리량이 높아집니다. 또한, RF 유도 가열 에셋 (RF induction heating asset) 은 에칭 공정의 온도를 제어하는 데 사용되며, 제거된 재료의 양이 동일하게 유지된다. 전반적으로, TEL 308 SCCM은 접근하기 어려운 영역의 복잡한 에칭을 위해 정밀도, 안전성 및 뛰어난 수준의 제어를 제공하는 고급 에칭/애싱 모델입니다. 고출력, 고온 배기 후드, 가변 자동 초점 장비, 기타 여러 기능 덕분에 308은 엄청나게 다양한, 사용자 친화적 인 시스템으로, 매우 정확하고 정확한 에칭 경험을 제공합니다.