판매용 중고 TECHNICS Micro RIE Series 800-II #9303728
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TECHNICS Micro RIE Series 800-II는 마이크로 전자 산업의 정밀 에칭 및 재싱에 이상적인 최첨단 에칭 및 애싱 머신입니다. Micro RIE Series 800-II는 5 "직경 x 5-2/5" (125mm) 노출 창을 갖추고 있으며 이동, 스캔 및 기본 곡선을 갖춘 고급 스테이지 제어를 특징으로합니다. 장비의 기저는 1 ° C까지 높은 온도 제어를 위해 고도의 전도성 흑연 절연 (graphite insulation) 과 오염을 방지하기 위해 석영 밀봉 배기 포트 (quartz sealed exhaust port) 로 구성됩니다. TECHNICS Micro RIE Series 800-II는 또한 고급 채권 상관 관계 소프트웨어 패키지와 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖추고 있으므로 프로세스 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 마이크로 RIE 시리즈 800-II (Micro RIE Series 800-II) 에는 Quenching Pressure Controller 기능이 장착되어 있어 최적의 에칭 또는 재싱을 위해 정확하게 제어 및 반복 가능한 프로세스 설정이 가능합니다. 이 시스템은 또한 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 최대 3 개의 가스를 동시에 제어 할 수 있습니다. 처리량이 높은 고주파 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 는 1W (저전력) 의 수준을 갖추고 있습니다. 신속한 4 단계 프로세스는 고품질 프로세스를 보장하며, 단 몇 초의 노출만으로 완벽한 재싱 (ashing) 을 가능하게 합니다. TECHNICS Micro RIE Series 800-II는 최대 정확도와 정확도를 위해 품질 재료와 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 장치는 최대 220V 전압의 단상 0.2kW 모터 제어 머신으로 구동됩니다. 고급 컨트롤러는 또한 PI 제어 (PI Control) 를 특징으로하며, 애싱 중 실시간으로 노출 및 압력을 조정합니다. 마이크로 RIE 시리즈 800-II (Micro RIE Series 800-II) 는 비상 차단 기능을 포함한 다양한 안전 기능을 제공하여 사용자가 항상 안전한지 확인합니다. 고성능 부식 내성 플라즈마 발전기는 0.1 초의 처리 간격을 가지므로 정확한 에칭을 보장합니다. TECHNICS Micro RIE Series 800-II는 마이크로 전자 산업에서 사용하기에 적합합니다. 5 "x 5-2/5" (125mm) 에처/애셔는 정확하고 빠른 에칭 및 재싱에 이상적입니다. 이 도구는 정확하고 반복 가능한 프로세스 설정, 고급 스테이지 제어, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 빠른 4 단계 공정, 단상 0.2kW 모터 제어 자산 및 고 처리량 고주파 플라즈마 생성기는 Micro RIE Series 800-II를 마이크로 일렉트로닉스 에칭 및 재싱을위한 최고의 선택으로 만듭니다.
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