판매용 중고 TECHNICS Micro RIE 800 #9124004

TECHNICS Micro RIE 800은 고정밀 프로세스에 사용하도록 설계된 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 기계는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공정의 정확하고 반복 가능한 제어를 위해 설계되었으며, 에칭 및 애싱 매개변수의 궁극적 인 제어를 제공합니다. 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 사용하여 에칭 및 애싱 작업 중에 기판을 안전하게 고정합니다. 이 etcher/asher는 독특한 디자인 기능으로 인해 우수한 성능 표준을 가지고 있습니다. 여기에는 조정 가능한 챔버 압력 설정이있는 4 개의 독립적 인 정전기 척 스테이션 (electrostatic chuck station) 이 있으며, 사용자가 각 개별 작업에 대한 설정을 최적화하여 처리량, 비용 절감, 마모 감소. 고해상도 열 이미징 시스템은 소프트웨어와 더불어 고정밀도 에칭 (etching) 과 재싱 (ashing) 을 모두 가능하게 하며, 균일성과 반복성이 뛰어납니다. 챔버 덮개에는 냉각 관리 기능이 내장되어 있어 프로세스 균일성, 반복성, 정확성이 향상됩니다. 이 모델은 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 바이오 칩 산업의 특정 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 응용 프로그램에 따라 프로세스 매개변수를 조정하는 기능과 함께, 다양한 개별/다중 기판 에칭 (Ettrate Etching) 및 애싱 (Ashing) 기능을 제공합니다. 또한 빠른 개별 웨이퍼 패턴 인식 (Quick Individual Wafer Pattern Recognition) 기능을 통해 사용자는 에칭 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 기술 측면에서 Micro RIE 800의 해상도는 250m이며 실리콘/실리콘-이산화화물, 실리카, 산화 알루미늄, 텅스텐 및 티타늄과 같은 다양한 재료와 호환됩니다. 저인덕턴스 (Low-Inductance) 3 상 전원 공급 장치를 사용하는 경우 10 mT 미만의 저압 요구량이 필요하므로 정밀 제어 및 프로세스 반복성이 보장됩니다. 또한 저유도 가스 공급 장치 (low-induction gas supply) 가 있으며, 오염으로부터 전극을 보호하고, 고품질 에칭/애싱 결과를 보장합니다. 전반적으로 TECHNICS Micro RIE 800은 다양한 고급 기능을 갖춘 신뢰할 수있는 고정밀 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 바이오 칩 산업의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 그 해상도, 반복성, 정확성은 사용자에게 품질 보증, 프로세스 제어 기능을 제공하여 운영 비용 절감, 처리량 증가, 비용 절감 효과를 제공합니다.