판매용 중고 TECHNICS 220-II #9124218

제조사
TECHNICS
모델
220-II
ID: 9124218
웨이퍼 크기: 4"
Barrel plasma asher (3) Three gas channels with mass flow controllers Stainless steel chamber process up to 4” dia 300 Watt 13.56 MHz power supply Substrates.
TECHNICS 220-II etcher/asher는 하나의 플랫폼에서 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 기능을 모두 결합한 사용자 친화적인 고성능 데스크탑 장비입니다. 5 개의 주 모듈 (Main Module) 로 구성된 모듈식 설계를 통해 대부분의 상용화된 시스템보다 훨씬 저렴한 비용으로 고품질 (High Quality) 과 정밀도 (Precision) 로 회로와 장치 패턴 모두를 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 220-II 에처/애셔의 첫 번째 모듈은 고속 반도체 에처입니다. 이 에칭 모듈은 우수한 Si: Si 에치 (etch) 속도를 제공하여, 다른 기존 시스템에서 달성하기 어려운 더 높은 수준의 에치 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 에칭 (etching) 모듈의 높은 처리량은 탁월한 처리 능력과 향상된 에치 심도 제어 기능을 제공합니다. 애싱 모듈은 효과적이고 정밀한 애싱 작업을 위해 고온, 반응성이 높은 플럭스를 생성하는 강력한 5 채널 RF 플라즈마 소스를 제공합니다. TECHNICS 220-II의 애싱 모듈은 높은 온도를 통해 Si, SiO2, SiN, Polyimides 및 기타 폴리머 및 유전체와 같은 다양한 유형의 재료를 분쇄 할 수 있습니다. 시스템의 세 번째 모듈은 빠르고 정확한 마스크없는 리소그래피 장치를 제공합니다. 220-II 의 마스크 없는 리소그래피 머신 (maskless lithography machine) 은 고해상도 투영 도구를 사용하여 장치 및 패턴을 정확하게 정의할 수 있는 뛰어난 패턴 정의 기능을 제공합니다. 다중 설계 지원 (예: 다중 설계 지원) 과 같은 다른 기능과 함께, 마스크 없는 리소그래피 모듈은 사용자가 복잡한 장치를 완성하기 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 에셋의 네 번째 모듈은 인라인 (in-line) 검사 모듈을 제공하며, 이 모듈은 리소그래피 작업 중 장치 크리티컬 결함을 확인하고 수정하도록 설계되었습니다. 인라인 검사 모듈은 pass/fail criteria 적용과 함께 디바이스 Critical Defect를 고속 감지 및 수정합니다. 또한, 모델은 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 사용하여 검사 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 장비의 다섯 번째 모듈은 장치 테스트, 프로토타입 (prototyping), 어셈블리 작업에 필요한 여러 하드웨어 구성 요소를 제공하는 수동 로봇 도구입니다. 이 툴을 사용하면 중요한 디바이스를 빠르고, 쉽게 어셈블할 수 있으며, 이를 테스트하여 디바이스 성능을 확인할 수 있습니다. 또한 수동 로봇 툴은 애플리케이션별 디바이스 조사, 현장 조작 및 분석, 장애 격리 등의 추가 기능을 제공합니다. 요약하면, TECHNICS 220-II etcher/asher는 높은 품질과 정밀도로 회로 (circuit) 및 장치 (device) 패턴을 모두 생성하려는 사용자에게 적합합니다. 이 장치는 5 개의 주 모듈을 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 위한 효율적이고 경제적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다.
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