판매용 중고 TAINICS TEC2100 #9160922

제조사
TAINICS
모델
TEC2100
ID: 9160922
빈티지: 2009
PECVD System Currently installed in clean room 2009 vintage.
TAINICS TEC2100 etcher/asher는 얇은 필름, 반도체 재료 및 포토리스 스트 코팅 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 와 같은 마이크로 제조 프로세스를 용이하게하기 위해 필요한 모든 기능을 갖춘 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 다양한 기판과 함께 작동하도록 설계되었으며, 다양한 통합 액세서리 (accessory) 가 장착되어 있어 기판 처리를 최적화할 수 있습니다. TEC2100은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되고 고급 마이크로 프로세서로 제어되는 진공 챔버를 갖추고 있습니다. 이를 통해 정밀한 온도 조절이 가능하므로 초박막 (ultra-thin film) 과 정밀 부품 (precision component) 과 같은 중요한 기판을 에칭하는 데 이상적입니다. 이 약실 은 또한 염산 과 같은 위험 한 물질 을 함유 하는 데 사용 될 수 있으며, 그 "펌프 '의 효율적 인" 펌프' 장치 는 위험 한 증기 들 이 안전 하게 대피 하도록 도와 준다. 이 장치에는 에칭 시간 제어를위한 자동 차단 기능, 기판 온도 조절을위한 온도 센서, 저해상도 작업 환경 유지를위한 전자 제어 실드 도어 (electronically controlled shield door) 등 다양한 맞춤형 액세서리가 장착되어 있습니다. TAINICS TEC2100에는 12 포인트 멀티 헤드 히터도 포함되어 있으며, 이는 최적의 기판 에칭을 위해 다양한 수준의 전압 및 전류를 가진 샘플을 가열하는 데 사용할 수 있습니다. TEC2100의 직관적인 터치 스크린 컨트롤 패널을 사용하면 챔버의 습도, 압력, 온도를 쉽게 모니터링할 수 있으며, 다양한 사전 프로그래밍 된 에칭 레시피에 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 각기 다른 재료와 기판에 대해 일관되고 안정적인 에칭 프로세스를 보장할 수 있습니다. 이 기계는 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 방향으로 작동하여 다양한 프로세스에 유연성을 제공합니다. TAINICS TEC2100은 오래 지속되는 성능을 위해 제작되었으며, 안심할 수 있는 1년 보증이 포함되어 있습니다. 오늘날 의 "마이크로패브라이션 '공정 의 까다로운 필요 를 충족 시키도록 최적화 되어 있으며, 이것 은 연구원, 기술자, 제작자 들 에게 이상적 인" 에칭' 과 "애싱 '도구 가 된다.
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