판매용 중고 TAINICS TE3100 #9144232

TAINICS TE3100은 반도체 웨이퍼 및 부품의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔입니다. TAINICS TE 3100은 고유 한 프로세스 제어 및 정확한 온도 제어로 인해 기존의 burn-in 기법보다 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 장비는 직관적으로 설계된 터치 스크린 제어 인터페이스 (touch screen control interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있습니다. TE3100은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 독립적으로 분리 된 공정 챔버 (process chamber) 를 사용하여 높은 온도와 정확한 온도 제어를 보장합니다. 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 단단한 온도 조절을 통해 단일 15 분 주기에서 최대 800 'C의 온도에 도달 할 수 있습니다. TE 3100은 청소 또는 유지 보수에 필요한 특수 도구가 없는, 사용자에게 친숙한 설계입니다. 또한 "콤팩트 '한" 디자인' 으로 "와퍼 '제조 구역 근처 에 위치 하여 신속 하고도 쉽게 설치 하고 청소 할 수 있다. 이 제품은 옵션 (내장형) 배기 장치 (External Exhaust Unit) 를 갖추고 있으며 고객의 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 외부 배기 장치 (External Exhaust Machine) 와 함께 사용할 수 있습니다. TAINICS TE3100은 또한 챔버의 정확한 온도 제어를 가능하게하기 위해 2 개의 공정 가스 옵션을 제공합니다. 비활성 가스 (inert gas) 옵션은 공정 중 산화로부터 웨이퍼를 보호하고 안정적인 대기를 제공하는 데 사용된다. 산소 가스 옵션은 에칭 또는 애싱 공정을 제어하는 데 사용됩니다. 공구는 또한 0.1 ° C의 정확도, 온도 표시기 및 프로세스 지속 시간 및 온도 측정을 위한 LED 패널 디스플레이 (LED 패널 디스플레이) 로 챔버의 정확한 온도 제어를 갖습니다. TAINICS TE 3100은 모든 에칭 및 애싱 요구 사항에 적합한 경제적인 솔루션으로 설계되었습니다. 공정 챔버는 반복 가능하고 안정적인 처리를 위해 설계되었습니다. 또한 개방형 아키텍처를 통해 레시피와 매개변수를 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 손쉬운 보정 및 유지 관리를 제공하여 최상의 성능을 보장합니다.