판매용 중고 SUMITOMO HC-4 #180254

SUMITOMO HC-4
제조사
SUMITOMO
모델
HC-4
ID: 180254
Helium compressor.
SUMITOMO HC-4는 반도체 소자 제조의 사진 촬영 및 관련 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고성능 에칭/애싱 장비입니다. 일본에서 만들어졌으며, 반도체 웨이퍼 생산에 사용되는 업계 표준 도구 중 하나입니다. 이 시스템은 높은 정밀도 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 언더컷 (undercut) 프로세스 단계를 쉽게 수행할 수 있습니다. 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 다양한 기능과 이점을 갖춘 최첨단 에칭/애싱 (eching/ashing) 장치입니다. 건조 저항, 폴리 이미 드, 폴리 실리콘, 알루미늄, 텅스텐 등을 높은 정밀도와 정확도로 제거 할 수 있습니다. HC-4는 간편한 설치 및 작동을 위해 설계된 컴팩트한 저비용 머신입니다. 내장형 터치 패널 디스플레이가 장착 된 밀폐형 스테인레스 스틸 하우징을 통해 조작자 제어가 쉽습니다. 이 도구에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 모니터링하기 위한 내장 광학 이미지 장치도 있습니다. 에셋에는 에칭 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하는 자동화된 프로세스 컨트롤러 (automated process controller) 가 장착되어 있습니다. 여기에는 공정 신뢰성을 보장하기위한 에찬트 (etchant) 와 애싱 (ashing) 제, 압력 및 온도의 농도가 포함됩니다. 또한, 이 모델에는 가스 패널이 장착되어 있으며, 반응물 가스 (reactant gas) 와 애싱 (ashing) 매개변수도 제어 할 수 있습니다. SUMITOMO HC-4는 또한 안전과 더 큰 운영자 편의를 위해 화학 저장 및 폐기물 격리를 제공합니다. 또한, 화학 전달 시스템을 위해 설계되어 원격 작동 및 인체 공학적 화학 처리 (ergonomic chemical handling) 를 허용합니다. 또한 HC-4 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 이상을 신속하게 감지할 수 있는 자가 진단 장비를 갖추고 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 버스 제어를 위해 준비되어 있으며, 원격 제어 (remote control) 및 다른 서브시스템에 연결된 작업이 가능합니다. 마지막으로, SUMITOMO HC-4는 제조 엔지니어 (Manufacturing Engineer) 사회가 승인 한 품질 관리 시스템으로 ISO-9001 인증을 받았으며, 제품의 고품질을 나타냅니다. 이로써 "프리미엄 '성능을 매력적인 가격으로 추구하는 반도체 기기 제조업체에게는 이상적인 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 장치입니다.
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