중고 STS / SPTS (에처/애셔) 판매용

STS/SPTS (Surface Technology Equipment Ltd/Surface Plasma Treatment Solutions) 는 반도체, MEMS 및 나노 기술과 같은 다양한 산업에 사용되는 에처/애셔의 주요 제조업체입니다. 그들의 제품은 플라즈마 가공 및 표면 처리를위한 고급 솔루션을 제공합니다. STS/SPTS etchers/ashers의 유사체는 신뢰성이 높고 효율적이며, 정확한 프로세스 제어 및 균일성을 보장합니다. 이 시스템은 반도체, 화합물 반도체, 금속, 유전체, 중합체 등 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 고급 플라즈마 (Plasma) 생성 및 제어 기술을 장착하여 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원합니다. STS/SPTS etchers/ashers의 장점에는 다용도, 높은 처리량, 우수한 프로세스 반복 가능성 및 낮은 소유 비용이 포함됩니다. 이러한 장치는 배치, 단일 웨이퍼 또는 롤-투-롤 처리를 처리 할 수 있습니다. 고급 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 및 제어 메커니즘을 제공하여 뛰어난 프로세스 제어 및 재생성을 보장합니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 운영 용이성 및 데이터 분석 기능을 제공합니다. STS/SPTS etchers/ashers의 몇 가지 예로는 Multiplex ICP, Pegasus 및 CPX Cluster 머신이 있습니다. 멀티 플렉스 ICP (Multiplex ICP) 는 단일 챔버에서 여러 프로세스 단계를 처리 할 수있는 고밀도 플라즈마 에치 시스템입니다. 페가수스는 정확한 에칭 및 표면 처리를 위해 설계된 고 처리량 단일 웨이퍼 에치 시스템입니다. CPX Cluster는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 유연한 구성을 제공하는 멀티 챔버 시스템입니다. 전체적으로, STS/SPTS 에처/애셔는 반도체 산업 및 그 이상의 광범위한 재료에 대해 정확하고 반복 가능한 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 신뢰할 수 있고, 다재다능하며, 기술적으로 고급 도구입니다.

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