판매용 중고 STS Pro ICP #9361815

STS Pro ICP는 산업 고출력 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 조정 가능한 프로세스 매개변수, 레이어 선택도 (Layer selectivity) 및 하단 챔버 (lower chamber) 가열과 같은 고급 기능이 장착되어 있어 프로세스 레시피를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 플랫폼은 RF 유도 난방 기술을 사용하여 0.1 ~ 1000MHz 범위의 주파수에서 작동 할 수 있습니다. 최대 처리 전력은 최대 700W이며, 최대 온도 범위는 700-1200 ° C입니다. 이 장비는 건식 공정 에칭 및 애싱, 습식 및 건조 패턴, 산화물 증착, 고층 에칭 등 다양한 공정 레시피를 지원할 수 있습니다. 또한 인베드 프로파일링 및 고성능 플라즈마 에칭과 같은 고급 기능도 포함되어 있습니다. 통합 컨트롤러에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있어 시스템을 쉽게 사용하고 설정할 수 있습니다. 사용이 간편한 소프트웨어는 다양한 프로세스 매개변수 (parameter) 설정 옵션을 제공하는 반면, 고급 프로세스 제어 알고리즘은 탁월한 안정성과 프로세스 반복성을 제공합니다. Pro ICP에는 다양한 안전 기능, 인터 록 (interlock) 및 전체 모니터링 기능이 포함되어 있습니다. 간편한 문제 해결과 예방적 유지 관리를 위한 진단 장치 (Diagnostic Unit) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 연속적인 생산용 인라인 도구 (inline tool for continuous production) 와 더 큰 유연성과 작업 추적을 위한 배치 자산 (batch asset) 을 포함한 여러 자동화 구성에서 사용될 수 있습니다. 이 모델은 다양한 애플리케이션의 처리량 및 다용도 요구 사항에 맞게 확장할 수 있습니다. 전반적으로 STS Pro ICP는 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적 인 에처이며, 산업 고출력 생산에 적합합니다. 고급 기능, 안전 기능, 자동화 기능을 통해 유연성이 향상되고 프로세스 제어 및 반복 기능이 향상되었습니다.