판매용 중고 STS Pro ICP #9294114
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ID: 9294114
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8"
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP는 산업, 과학 및 의료 응용 프로세스에 대한 속도와 정밀도를 제공하는 최첨단 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 거의 모든 환경에서 설계 및 측정의 우수한 품질 출력을 유지합니다. STS ICP에는 최대 80,000 RPM의 인상적인 속도로 최고급 밀링 헤드가 있습니다. 고정밀 모터와 이송 속도 (Feed Rate) 를 통해 높은 수율로 원활한 결과를 얻어 세부적인 에칭 및 애싱 작업을 수행할 수 있습니다. 공압 제어 설계에는 LCD 디스플레이가 포함되어 있어 프로덕션 설정 조정을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. STS ICP는 또한 200 ~ 2000 mm, 3 ~ 12mm 범위의 다양한 너비와 깊이와 호환되며, 생산 과정에서 정확한 제어를 제공합니다. 또한 다양한 표면에 에칭하기위한 최대 3 가지 유형의 팁을 수용 할 수 있습니다. STS ICP는 인상적인 생산 속도, 설정 범위와 함께 듀얼 진공 보조 시스템 (dual vacuum-assisted system) 을 갖추고 있어, 정확성을 보장하고 재가 된 표면의 산화를 방지합니다. STS ICP 는 자동화된 정렬 및 중앙 집중화를 지원하는 시스템 비전 시스템 (machine vision system) 을 탑재하여 모든 세부 사항을 극도로 정확하게 고려하고 있습니다. 또한 갈바 노미터 (galvanometer) 와 수냉식 팁 제어를 장착하여 정밀도 및 반복성을 강화했습니다. STS ICP 의 첨단 하드웨어 (HT) 와 정교한 소프트웨어 (SW) 를 사용하면 가장 안정적이고 정확한 에칭/애싱 솔루션에 액세스할 수 있습니다. 이 제품은 현미경, 의료 장치, 광전자, 마이크로 일렉트로닉스, 기타 엔지니어링 및 과학 응용 분야에서 다양한 용도로 적합합니다. STS ICP 는 타의 추종을 불허하는 정확성, 빠른 처리 시간, 내구성 있는 구성으로 모든 산업 환경에 적합한 툴입니다.
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