판매용 중고 STS / CPX Pegasus #293597735
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ID: 293597735
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX 페가수스 (Pegasus) 는 Semflex Group에서 제공하는 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로 다양한 기판 재료에 대한 다양한 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 최신 전자기 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 기술을 기반으로 하고 있으며, 광범위한 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 일관성 있고, 반복 가능하며, 고품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. STS 페가수스 (Pegasus) 장치는 고급 다중 스테이션 처리 로봇, 에칭 챔버, 애싱 퍼니스 및 다수의 고급 제어 및 모니터링 시스템으로 구성됩니다. 기계는 여러 가지 기판 재료를 사용하여 작업 할 수 있으며, 최대 500mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있습니다. 에칭 챔버 (eching chamber) 는 초고밀도 에칭을 제공하도록 설계되었으며, 애싱 퍼니스는 고효율, 제어성, 안전한 애싱 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 멀티 암 로봇은 에칭 챔버 (etching chamber) 와 애싱 퍼니스 (ashing furnace) 사이에 웨이퍼를 옮기는 데 사용됩니다. 정교한 디자인은 웨이퍼 스핀 (wafer spin) 을 제어하고 전체 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼의 정확한 시퀀싱 및 위치를 확인할 수 있습니다. 이 로봇은 또한 웨이퍼를 인식, 로드, 언로드할 수 있으며, 웨이퍼 클리닝, 방향 조정, 정렬 등 다양한 추가 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 고급 온도 조절 시스템 (Temperature Control System), 공기 및 가스 흐름 보호 (Air and Gas Flow Protection), 모니터링 및 안전 연동 (Safety Interlock) 등 다양한 보안 및 안전 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기능은 에칭 (etching) 작업 중 발생할 수 있는 위험을 최소화하고, 운영자에게 안전하고 안전한 경험을 제공합니다. CPX 페가수스 (Pegasus) 자산은 또한 그 안에서 처리되는 웨이퍼의 품질과 무결성을 극대화하는 한편, 뛰어난 유연성과 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 혁신적인 나노 기술 (Nanotechnology) 과 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 통해 에칭 및 애싱 시 전례없는 정밀성과 반복성을 제공합니다. 이 모든 기능 은, 장비 의 다양성 과 더불어, 광범위 한 "애플리케이션 '표면 에 대한" 에치' 와 "애쉬 '처리 를 위한 이상적 인 해결책 이 된다.
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