판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9399677

STS/CPX Multiplex는 리소그래피 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 제품은 특수형 하드웨어와 고급 소프트웨어 구성요소의 고유한 조합으로 설계되었습니다. 듀얼 챔버 디자인이 특징 인 효율적이고 컴팩트 한 메인 프레임으로 만들어졌습니다. STS Multiplex는 최대 4 개의 다른 마스크 패턴을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이는 고급 소프트웨어와 결합하여 석판화 (lithography) 프로세스를 실행하는 데 필요한 데이터와 작업을 직관적으로 관리합니다. 첫 번째 챔버에서 다중 거짓말 배치 래스터가 발생합니다. 아키텍처는 다른 파장에서 2 개의 레이저 빔을 사용합니다. 정밀도가 높은 모양 또는 크기의 포토 레스트 (photoresist) 기판에 폴리머 층을 적용 할 수 있습니다. 각 배치 래스터는 한 주기에 최대 40 개의 레이어를 배치 할 수 있습니다. 제 2 챔버 (second chamber) 는 모든 부품이 같은 시간에 정확히 같은 위치에 유지되도록 도와줍니다. 이 포지셔닝은 자동 초점 카메라 및 정전용 센서로 수행됩니다. 이러 한 "센서 '는 전기 전류 와 기판 의 각 수준 의 높이 의 차이 를 측정 한다. 이렇게 하면 올바른 위치에 최대 6 개의 다른 레이어 유형을 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 CPX 멀티 플렉스 (CPX Multiplex) 는 특별히 설계된 소프트웨어 환경을 사용하여 의도된 결과에 따라 가장 효율적이고 효과적인 제조 프로세스를 동시에 분석하고 확인할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 다양한 툴이 포함되어 있습니다 (영문). 여기에는 다양한 레이어의 적용을 세밀하게 조정하고, 최적의 결과를 얻기 위해 노출 시간 (Exposure Time), 두께 (Thickness) 및 기타 값과 같은 매개변수를 조정하는 것이 포함됩니다. 마지막으로, 멀티플렉스 (Multiplex) 는 리소그래피 프로세스 전반에 걸쳐 데이터를 모니터링하고 시스템의 성능을 모니터링하는 유지 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능에는 간편한 탐색 및 하드웨어/소프트웨어 구성 요소에 대한 자세한 정보를 제공하는 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (GUI) 가 포함되어 있습니다. 따라서 필요에 따라 효율적이고 효과적인 서비스 및 문제 해결이 가능합니다. 결론적으로, STS/CPX Multiplex는 효율성과 정밀도로 리소그래피 프로세스를 개선하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 전문 하드웨어와 전용 소프트웨어 (전용 소프트웨어) 의 조합으로, 기업과 개인에게 상세한 결과를 찾는 데 귀중한 자산이 됩니다.