판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9206283
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ID: 9206283
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
Vacuum load-lock: Manual
Load-lock / Process chamber: Automatic transfer
Loader substrates: Up to 200 mm diameter
Chuck: 100 mm diameter
Load lock: MK4 Single wafer load lock
Dual frequency:
High frequency PECVD
Low frequency PECVD
RF Generator: 187.5 kHz, 375kHz
Remote gas box
Computer
Monitor
Keyboard
Operating system: Windows 2000
Affinity chiller
EDWARDS IH600 Vacuum pump: Chamber
VARIAN SH-100 Vacuum pump: Load lock
Operation manuals
Electrical drawings
Auxiliary equipment manuals
Deposit silicon dioxide (SiO2)
Silicon nitride (Si3N4)
Silicon carbide (SiC)
Gas box (Process gases):
SiH4-Ar (Silane-Ar), 100 sccm
NH3 (Ammonia), 500 sccm
N2O, 5000 sccm
N2, 5000 sccm
CF4, 1000 sccm
O2, 500 sccm
Ar, 1000 sccm
C2H2, 1000 sccm
(2) Purge lines: Silane / CH43
Manual.
STS/CPX Multiplex는 고품질 마이크로 일렉트로닉 시스템 생산을 위해 설계된 고정밀 에처 애셔입니다. 이 기계 는 혁신적 인 "레이저 '공정 에 기초 를 두고 있는데, 그 공정 은 녹은 다음 에 선택 된 물질 의 얇은 층 을 증발 시킨다. 이렇게 하면 기판에 매우 훌륭한 피쳐를 생성할 수 있습니다. 이 기계는 정확성과 반복성을 보장하는 5 축 모션 컨트롤 시스템 (motion control system) 으로 구동되어 박막 마이크로 서킷에 정확한 기능을 만들 수 있습니다. STS Multiplex는 깊이가 0.2 ~ 2.0 미크론이고 폭이 0.1 ~ 5 미크론 인 완전히 에칭 된 3 차원 구조를 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 매우 미세한 공차를 가진 복잡한 컴포넌트를 가공할 수 있으며, 이를 통해 완벽한 사용자정의가 가능합니다. CPX 멀티 플렉스 (CPX Multiplex) 에는 기판을 임의의 각도로 배치 할 수있는 4 축 로봇 암이 있으며, 레이저 빔은 정밀도로 지시 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 다양한 사전 프로그래밍 된 에칭 패턴과 기능을 제공하여 고가 (higher-value) 컴포넌트를 제조 할 때 쉽게 사용할 수 있습니다. 멀티 플렉스 (Multiplex) 는 고출력 레이저를 사용하여 증발시킨 후 녹은 재료를 빠르게 반사합니다. 이로 인해 우수한 에칭 특성이 생성되어 다른 에처-애커보다 더 빠른 품질의 컴포넌트가 생성됩니다. 이 기계는 금속, 유전체, 폴리머 등 다양한 재료에 초미세 (ultra-fine) 기능을 만드는 데 이상적입니다. 내성 (resistance) 이 매우 낮은 컴포넌트를 생산할 수 있는데, 이는 고온과 고주파 (high-frequency) 환경에서 작동하는 회로에 이상적입니다. STS/CPX 멀티 플렉스 (STS/CPX Multiplex) 는 모듈식 플랫폼을 통해 구성 요소를 사용자 정의할 수 있으며, 관련 소프트웨어는 다양한 etch 프로세스를 프로그래밍하는 다양한 도구를 제공합니다. 또한 PNP (Automated Part Number Programming) 시스템을 통해 복잡한 패턴을 빠르고 효율적으로 사용하여 복잡한 구성 요소를 쉽게 만들 수 있습니다. "마이크로일렉트로닉 '" 시스템' 의 생산 에 있어서 여러 가지 유익 을 주는, 믿을 만하고 견고 한 장치 이다. 이 기계는 고품질을 생산하도록 설계되었습니다.
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