판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9162410

STS/CPX Multiplex etcher/asher는 웨이퍼 에칭 및 재싱을위한 자동 장비입니다. 하나의 작업에서 동시에 최대 8 개의 웨이퍼를 유인하고 에칭하여 높은 생산성, 처리량, 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. STS는 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 로 제작되어 안정적인 환경을 제공하고 더 긴 운영 수명을 보장합니다. 고온로 (HT) 는 1300 ° C까지의 온도에 도달 할 수 있으며, 실리콘 및 기타 재료를 에칭하고 재시하는 데 이상적입니다. 또한 온도, 공정 시간, 가스 흐름 속도 등 프로세스 매개변수를 조정하는 기능이 향상되었습니다. 애싱/에칭 프로세스는 각 레시피에 대해 사전 설정되고 런타임 동안 모니터링될 수 있습니다. CPX에는 자동 시간 시퀀싱, 온도 경사 프로파일링, 프로세스 세트 포인트 관리 등 고급 프로세스 컨트롤이 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 흐름 속도, 온도 (temperature set-point), 주기 시간 (cycle time) 과 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 모두 위한 다양한 열/온도 프로파일을 프로그래밍하면 가장 다양한 에칭/애싱 시스템 중 하나입니다. STS/CPX는 고급 모니터링 장치를 사용하여 ashing 및 etching 프로세스를 모두 제어합니다. 여기에는 챔버 압력의 실시간 감지, 웨이퍼 상태 표시, 최적의 애싱/에칭 성능에 대한 압력 자동 교정 및 조정, 에칭/애싱 프로세스에 대한 직접 제어 액세스가 포함됩니다. 최대 온도 균일성을 제공하는 머신 (machine) 은 또한 챔버의 모든 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 좋은 온도 균질성을 보장하는 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 의 독특한 설계를 가지고 있습니다. 이 자산에는 웨이퍼를 위한 컴퓨터 제어 리프트/포지셔닝, 수동 리프트/포지셔닝 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 STS Multiplex etcher/asher는 고효율, 고출력 웨이퍼 에칭 및 재싱을 위한 탁월한 선택입니다. 고급 프로세스 제어, 정확한 매개변수, 균일 한 온도 등을 통해 효율적이고 신뢰할 수 있는 생산에 이상적입니다.