판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9145738
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ID: 9145738
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2003
High rate deep silicon ICP etcher, 6"
Multiplex atmospheric cassette system (MACS)
Advanced silicon etch (ASE) with bosch process
HR Chamber for high rate etch
Capable : 100mm-200mm
MACs Loader for cassette to cassette operation (2 load stations)
Load lock pump : iQDP80
Chamber pump : iQDP40-QMB250
Chiller : Tektemp TKD200/5118TL
2μm Trench width etched to 20μm deep
>3.5μm Photoresist mask thickness
20μm Deep si etch.
Uniformity across a wafer : <±5%
Uniformity wafer to wafer : <±5%
Selectivity (Si:PR) : >50:1
Selectivity (Si:OX) : >100:1
Average Si etch rate : >3μm/min
Profile : 90o±1o
Undercut : <0.4μm Per edge
50um Trench width etched to 400um deep
>8μm Mask thickness
>400μm Deep Si etch to wafer back-side etch stop
Uniformity across a wafer: <±5%
Uniformity wafer to wafer : <±5%
Selectivity (Si:PR) : >40:1
Selectivity (Si:OX) : >80:1
Average Si etch rate : >2.5μm/min
Profile : 91o±1o
2003 vintage.
STS/CPX 멀티 플렉스 (STS/CPX Multiplex) 는 인쇄, 호일 및 다이 산업의 에칭 및 애싱 프로세스에서 최신 기술을 지원하도록 설계된 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 스테이션 모듈식 (modular) 확장성을 갖추고 있어 고객이 특정 프로세스 요구 사항을 충족하도록 장치를 구성할 수 있습니다. 이 기계에는 컨트롤러 설정을 단순화하고 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 간소화하기 위해 개발 된 통합 ACINETIX ® 가 있습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 인터페이스) 를 통해 프로세스 매개 변수를 구성하고, 도구 성능을 모니터링하며, 그래픽 상태, 데이터 추세를 확인할 수 있습니다. 또한 ACINETIX® 는 등록된 추적, 자동 경보 관리, 빠른 프로토타입 (prototyping) 기능과 같은 다양한 기능을 제공합니다. STS 멀티 플렉스 (STS Multiplex) 는 빠른 속도와 정확성을 제공하도록 설계되어 생산량이 향상되고 거부가 적습니다. 이 제품은 듀얼 헤드 (Dual-Head) 열망과 독립적인 프로세스 제어를 특징으로 하며, 사용자가 정확한 디테일로 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 주기를 사용자 정의하고 프로그래밍할 수 있습니다. 이것은 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 컴포넌트를 정확하게 배치할 수 있는 기능을 제공하는 고해상도, 밀폐된 X/Y 테이블에 의해 지원됩니다. CPX Multiplex는 효율성을 극대화하고 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 운영 특정 습식 벤치 (Wet Bench), 화학 물질 모듈 (Chemicals Module) 및 자산 환기 (Asset Ventilation) 가 장착되어 있어 사용자가 안전하게 현지 환경 규정을 준수할 수 있습니다. 또한 통합 클로즈드 루프 (closed-loop) 클리닝 모듈을 통해 클리닝 시간을 줄이고, 제품 품질을 향상시키며, 수동 클리닝이 필요 없습니다. 멀티플렉스 (Multiplex) 는 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 화학 물질과 호환되므로 운영 및 공급 비용을 절감할 수 있습니다. 모든 주요 구성 요소 부품은 손쉽게 교환할 수 있으며, 이를 통해 고객은 장비를 신속하고 비용 효율적으로 수리, 유지 관리할 수 있습니다. 또한, 사용자는 이 시스템을 다른 자동화 장비와 통합할 수 있어, 단위의 복잡성을 줄이고, 시간과 에너지를 절감할 수 있습니다. 전체적으로, STS/CPX Multiplex 는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있는 안정적이고 효율적인 시스템입니다. 인쇄, 호일 및 다이 산업의 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적입니다.
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