판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9145668
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9145668
웨이퍼 크기: 8"
Cluster ICP etcher, 8″
Brooks VCE4 and Mtr5 robot
C033 Cluster handler
(2) Temperature controlled lids
Loadlock: Brooks VCE 4 with manual door
Corema chiller on metal ICP chamber
ICP Chamber (Metal, dielectric etch)
(12) process gas manifold
Bias capabilities
Chuck: Heat exchanger
Turbo pumps: TMH 100
Processed: Silicon etch
ICT Chamber (Asher / Stripper)
Gases: N2, O2, NH3, CF4
Turbo pump
NOAH Chiller.
STS/CPX 멀티 플렉스 (STS/CPX Multiplex) 는 세라믹 패키지 및 유리와 같은 다른 기판의 에칭 및 트리밍을 돕기 위해 설계된 전문 etcher/asher입니다. STS Multiplex (STS Multiplex) 는 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 고정밀 습식 에칭/트리밍 머신입니다. 통합, 공랭식 진공 장비를 통해 최적의 에칭 및 트리밍 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 최대 18mm 두께의 기질을 처리 할 수 있으며, 도자기, 유리 및 기타 기질의 에칭 및 트리밍에 이상적입니다. CPX Multiplex는 PLC (programmable logic controller) 에 부착 된 강력한 펌프 유닛으로, 에칭 및 트리밍 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 사용자 정의 (customize) 를 특정 애플리케이션에 추가로 적용할 수 있는 인터페이스가 설치되어 있습니다. 여기에는 에칭 및 트리밍 압력, 속도 및 시간 설정이 포함됩니다. 또한 여러 개의 내장형 안전 (Safety) 기능을 통해 이 도구를 안전하고 효율적으로 작동할 수 있습니다. 멀티 플렉스 (Multiplex) 는 또한 최첨단 기능을 갖추고 있어 고급 에칭 (etching) 및 트리밍 (trimming) 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 고정밀 게이징 에셋을 사용하면 각 에치 (etch) 와 트림 (trim) 의 깊이를 정확하게 측정할 수 있으며, 기본 제공 정렬 모델의 경우 항상 에치가 완벽합니다. 첨단 마이크로프로세서 제어 장비 (Advanced Microprocessor Control Equipment) 는 프로세스와 시스템 간에 빠르고 정확한 데이터 전송을 제공하므로 사용자의 에치가 항상 정확한 사양에 최적화됩니다. 요약하자면, STS/CPX Multiplex 는 다양한 애플리케이션에 적합한 초정밀 에칭 및 트리밍 솔루션을 찾는 고객에게 이상적인 에칭 및 트리밍 머신입니다. 통합, 공랭식 진공 장치, PLC에 부착 된 강력한 펌프 머신, 최고의 에칭 및 트리밍 경험을위한 고급 마이크로 프로세서 제어 도구 (Advanced Microprocessor Control Tool) 가 특징입니다.
아직 리뷰가 없습니다