판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9145667
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ID: 9145667
빈티지: 1997
ICP Etcher
(1) Chamber: Poly / Oxide
(1) Transfer chamber
(1) Vacuum cassette loadlock
(2) Process kit
Manometer: LEYBOLD 100mPa / MKS10mBar
ESC Chuck
RF Gen source: ENI (ACG-10B)
Bias: ENI (ACG-10B)
RF Match: Auto match
Transfer: Cluster
Load lock: Vacuum cassette elevator remote
Gasbox MFC: N2/200, O2/50, N2/50, N2/100, N2/300, N2/100, N2/50, N2/50
Process gas: SF6, O2, Ar, CF4, C3F8, CHF3, Cl2, C2H4
Drypump
Chiller: NESLAB CFT-75
1997 vintage.
STS/CPX Multiplex etcher/asher는 하나의 단위로 여러 프로세스 단계를 수행할 수 있도록 하는 입력 및 출력이 통합 된 확산 로입니다. 이 유형의 퍼니스는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에서 에피 택시 (epitaxial deposition) 에 이르기까지 다양한 프로세스를 처리 할 수있는 단일 장비를 제공합니다. STS Multiplex etcher/asher는 견고하고, 안정적이며, 효율적인 도구로 복잡한 구조와 장치를 생산하는 데 사용할 수 있습니다. CPX Multiplex etcher/asher는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행하기 위해 일제히 작동하는 여러 개의 연결된 독립 모듈로 구성됩니다. 각 모듈에는 웨이퍼 전송 시스템, 공정 챔버, 배기 장치 및 가스 전달 기계가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 전송 도구 (wafer transfer tool) 는 각 프로세스 챔버에 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 역할을 합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 합금 바디, 절연 라이너 및 가열 된 요소로 만들어져 가스를 가열하고 증착을 촉진하는 데 사용됩니다. 배기 에셋은 잔류 입자, 휘발성 유기 (volatile organics) 및 공정 챔버 (process chamber) 에서 가스를 수집하고 필터링하여 안전하고 호환 된 작업 환경을 보장하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 가스 전달 모델 (gas delivery model) 은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를위한 공정 챔버에 공정 가스 및 전구체를 도입합니다. Multiplex etcher/asher는 200-350 ° C 사이의 온도에서 작동 할 수 있으며 가스 흐름, 온도, 압력 및 전력과 같은 모든 프로세스 매개 변수에 대한 뛰어난 제어를 제공합니다. "가스 '의 압력 뿐 아니라" 가스' 의 온도 를 조절 함 으로써 온도 와 압력 을 조정 할 수 있다. 또한, 각 공정 챔버 (process chamber) 에는 반응성 가스 (reactive gase) 의 도입과 소비 된 가스의 배기를 허용하기 위해 입구 및 콘센트 포트가 장착되어 있습니다. 또한 STS/CPX Multiplex etcher/asher의 멀티플렉싱 (multiplexing) 기능을 통해 동일한 장치 내에서 여러 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 이 단계는 시스템 컨트롤러를 통해 제어됩니다. 컨트롤러 (Controller) 는 다양한 프로세스에 대한 자동 레시피를 프로그래밍하는 데 사용되며, 다운타임을 최소화하면서 반복 가능하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. CPX Multiplex etcher/asher의 STS Multiplex 기능은 엄청난 유연성과 비용 절감 효과를 제공합니다. 동일한 장치 내에서 완료할 수 있는 여러 프로세스는 다양한 운영 시나리오에 매우 다양하고 비용 효율적입니다 (영문). 웨이퍼 처리 시간 (wafer handling time) 과 주기 시간 (cycle time) 을 모두 단축하여 시간과 비용을 절약할 수 있습니다. 이를 통해 Multiplex Etcher/asher는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 확산 로를 찾는 비즈니스에 적합한 선택입니다.
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