판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9095065

STS/CPX Multiplex는 기판 준비 및 기타 유사한 프로세스에 사용되는 etcher/asher입니다. STS (Substrate Transfer Equipment) 와 CPX (Chemical Platinum Exchange) 기술의 조합을 사용하여 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 고해상도 패턴을 생성합니다. 기질 전달, 저항 스트립, 수동화, 화학 기계 연마, 기질 전달 등과 같은 에칭 및 애싱 공정이 가능합니다. STS Multiplex는 고정밀, 다방향 가스 전달 시스템, 고선택성 이온 빔 및 가변 전원 설정을 갖추고 있습니다. 이러한 기술 조합은 기판에 미치는 영향을 최소화하면서 고해상도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 제공합니다. 가변 전원 설정을 사용하면 고객의 응용 프로그램 및 요구에 맞게 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있고, 고선택성 (high-selectivity) 이온 빔 (ion beam) 은 정확한 패턴 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. CPX Multiplex (Multiplex) 는 최소한의 폐기물로 최고 품질의 결과와 낮은 TCO (총 소유 비용) 를 달성하도록 설계되었습니다. 이것은 장치의 집중력, 고급 프로세스 및 정확한 제어 메커니즘을 통해 달성됩니다. 그 외에도, 머신이 필수 매개변수 내에서 작동하도록 하는 데 도움이 되는, 먼지 수집 (dust collection), 자동 교정 (automatic calibration), 열 관리 시스템 (thermal management systems) 과 같은 안전성과 신뢰성을 보장하는 기능을 갖추고 있습니다. Multiplex는 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에서 사용하기에 적합합니다. 광범위한 기판을 처리 할 수 있으며, 다른 에처/애셔 (etcher/asher) 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 또한, 대용량 페이로드를 처리할 수 있으며, 프로세스 시간을 최대 40% 까지 줄여 효율성 및 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다. 전반적으로 STS/CPX Multiplex 는 다양한 애플리케이션에 고해상도 에칭 (etcher) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 제공하는 etcher/asher 입니다. 이 기술을 결합하면 최소한의 폐기물로 고정밀도 높은 결과를 얻을 수 있으며, 고급 프로세스와 제어 시스템 (Control System) 은 안전성과 안정성을 보장합니다. 대용량 페이로드 처리 (process payload) 기능을 통해 프로세스 시간이 단축되어 효율성 및 비용 절감 효과가 향상되어 업계/연구 애플리케이션 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다.