판매용 중고 STS / CPX Multiplex #9071736

STS/CPX Multiplex는 photomask 기판의 높은 처리량을 처리하도록 설계된 etcher/asher 장비입니다. 멀티프로브 에칭/애싱 기술을 사용하여 HAR (High Aspect Ratio) 에칭/애싱, 사이드 에칭/애싱, 기타 고급 프로세스 기술 등 다양한 어플리케이션 요구 사항을 처리합니다. 이 시스템은 단일 실행에서 최대 200 개의 샘플을 처리할 수 있는 안정성, 일관성, 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 장치의 중심부에는 고정밀도, 이중 프로브 (dual-probe) 단계가 있으며, 이는 타이트한 프로세스 제어 매개변수 내에서 작동하여 반복 가능하고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 결과를 보장합니다. 이중 프로브 (Dual-Probe) 는 광범위한 프로세스 매개변수 조정을 가능하게 하는 매우 정확한 정확성을 제공합니다. 이 기계는 또한 스캐닝 기술 (scanning technology) 을 통합하여 사용자가 적절한 에칭/애싱 마스크를 빠르고 정확하게 생성할 수 있도록 합니다. 이는 고정밀도 프로세스의 정확성과 속도를 향상시켜 주기 (cycle) 시간을 줄이고 처리량을 증가시키는 데 크게 도움이 됩니다. 이 도구의 고급 종단점 감지 (End-Point Detection) 기능을 통해 중요한 프로세스 단계를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 오버에칭 (over-etching) 및 언더에칭 (under-etching )/애싱 (ashing) 및 오염 위험을 현저히 줄입니다. STS 멀티 플렉스 (STS Multiplex) 는 Low-abrasion 기술을 사용하여 단일 및 이중 레이어 포토 마스크 등 광범위한 재료를 처리하고 여러 작업에 대해 일관된 에칭/애싱 결과를 제공합니다. CPX Multiplex 시스템은 완전한 디지털 제어를 통해 모든 해당 자료에 대해 정확하고 균일 한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 허용하고 연산자 오류 위험을 줄일 수 있습니다. 이 시스템에는 강력한 종단점 감지 (end-point detection) 가 장착되어 있어 정확한 제품 처리량과 균일 한 결과가 가능합니다. 이 자산에는 고해상도 실시간 온도 모니터링, 에칭/애싱 커브의 실시간 플로팅, 사용자 친화적 인 통합 그래픽 인터페이스 등 다양한 하드웨어/소프트웨어 (옵션) 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 있으며, 특정 응용 프로그램에 대해 조정할 수 있으며, 동시에 적용되어 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 멀티플렉스 에처 (Multiplex Etcher )/애셔 (Asher) 시스템은 최신 에칭/애싱 기술 및 재료와 호환되며, 최첨단 프로세스 제어 시스템과 통합됩니다. 견고한 풀 함수 (full-function) 설계는 다양한 재료에서 높은 품질의 에칭/애싱 (etching/ashing) 성능을 제공하며 프로세스 안정성으로 인해 중요한 프로세스가 정확하게 모니터링되고 실행됩니다. 이 장비는 또한 최대의 유연성과 다용성을 제공하여 다양한 애플리케이션 요구 사항 및 에칭/애싱 (etching/ashing) 재료와의 호환성을 제공합니다. 이 시스템은 사용자가 처리량이 높고, 신뢰성이 높은 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 제공하여 가장 엄격한 애플리케이션의 요구를 충족시킵니다.