판매용 중고 STS / CPX Multiplex #293725291
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293725291
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2000
Etcher, 4"
Material used: Gas
Gas box
QDP80 Pump
900 Turbo pump
Chiller
RF
No ESC
Throttle valve
Back side cooling
Loadlock
No end point detection system
Operating system
2000 vintage.
STS/CPX Multiplex는 집적 회로 제작을 위해 설계된 고성능 etcher/asher입니다. 동시 다중 단계 에칭, 합금 및 증착 프로세스가 가능합니다. STS Multiplex (STS Multiplex) 에는 각 고객 애플리케이션의 구체적인 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 다양한 모듈식 구성 요소가 포함되어 있습니다. CPX Multiplex는 최적의 성능과 높은 처리량을 위한 최적화된 설계를 제공합니다. 낮은 온도에서 효율적인 에칭을 위해 고급 Multiplex Piston Etch 및 Charge Circuitry를 통합합니다. 에처는 두 가지 주요 구성 요소, 즉 전기 화학 에칭 챔버와 이온 빔 에칭 챔버로 구성됩니다. "에칭챔버 '를 밀봉 하고 압력 을 가하여 손상· 휘발성 화학 물질 의 탈출 을 방지 하고, 최적 의 온도 와 압력 을 유지 한다. 이온 빔 에칭 챔버 (ion beam etching chamber) 는 가스 전달 장비를 사용하여 이온 빔 전압을 제어하며, 정밀 에칭을위한 균일 한 경로에 빔을 포함합니다. STS/CPX Multiplex의 베이킹 시스템은 오븐, 프리히터, 냉각 존 및 배기 장치로 구성됩니다. 오븐과 예열기는 최대 1000 ° C의 예열, 굽기 및 anneal 웨이퍼에 사용됩니다. 냉각 구역은 부드러운 대류 냉각을 제공하여 온도를 줄이는 데 도움이됩니다. 그것의 지능형 컨트롤은 베이킹 프로세스를 조절하여 베이크 조건의 균일성과 레이어 두께의 균일성을 보장합니다. 배기 기계는 베이킹 과정에서 방출 된 유해 화학 물질을 포착합니다. STS Multiplex에는 고급 마이크로 컴퓨터 제어 전기 도금 도구도 포함되어 있습니다. 이 자산은 균일 한 도금을 위해 조절 된 DC 전압과 연속 전류를 도금 표면에 공급합니다. CPX 멀티플렉스 (Multiplex) 전기도금 모델에는 다중 에칭 및 도금 프로세스에 대한 조정 가능한 설정이 있으므로 유연성과 사용자 정의가 향상됩니다. Multiplex는 또한 고급 합금 프로세스를 제공합니다. 이 과정을 통해 다양한 금속/폴리머/산화물 물질을 다른 기질로 증착 할 수 있습니다. 이 합금 공정은 고급 제품 설계 (Advanced Product Design) 에 대한 다양한 전문 자료를 수용하도록 조정 될 수도 있습니다. STS/CPX Multiplex etcher/asher는 집적 회로 제작을위한 고급 선택입니다. 이 설계는 처리량, 정밀도 및 균일성이 높은 효율적인 에칭, 합금 및 증착 프로세스를 가능하게합니다. 모듈식 구성 요소를 사용하면 특정 애플리케이션에 맞게 장비를 사용자 정의할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다