판매용 중고 STS / CPX Multiplex #293601086
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ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX 멀티 플렉스 (STS/CPX Multiplex) 는 반도체 산업의 다양한 유형의 재료를 정확하게 에칭 및 재싱하기위한 컴퓨터 제어 장비 시스템 인 etcher/asher입니다. 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기판 환승 스테이션 (STS) 및 컴퓨터 보조 플라즈마 에칭 프로세스 (CPX). STS/CPX는 웨이퍼를 로드/언로드 포트에서 asher/etcher 챔버로 안전하게 이동하는 데 사용되는 장치입니다. STS는 일련의 전기 기계 무기, 보안 운송 모듈 및 공구 체인저 어셈블리로 구성됩니다. 무기 는 "와퍼 '를 정밀 한 움직임 을 사용 하여" 클램프' 하여 "와퍼 '를 고정 시켜 기계 내 의" 웨이퍼' 를 정밀 하게 정렬 하도록 설계 되었다. 공구 체인저 어셈블리 (Tool Changer Assembly) 는 에칭 및 어싱 프로세스 동안 필요할 수 있는 모든 부품 또는 컴포넌트를 변경할 책임이 있습니다. CPX (Computer Control Etching and Ashing) 시스템은 STS/CPX의 일부이며, 에칭 및 애싱 프로세스의 모든 측면을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 여기에는 온도, 압력, 유속, 전력 및 타이밍에 대한 정확한 제어가 포함됩니다. STS는 고급 소프트웨어 인터페이스 (Advanced Software Interface) 를 사용하여 에칭 매개변수를 최적화하고 제어함으로써 고품질 에칭 (Quality Etching) 및 애싱 (Ashing) 결과를 제공하도록 설계되었습니다. STS Multiplex (STS Multiplex) 는 CPX 도구 교환기의 정밀도를 Computer-Aided Plasma Etching Process와 결합하여 에칭 및 재싱에서 뛰어난 결과를 얻을 수있는 에처를 만듭니다. 이 에처 (etcher) 는 다양한 기판 재료 및 프로세스에 대한 높은 반복성과 정확성을 달성 할 수 있습니다. 또한, 특정 애플리케이션 요구사항에 맞게 쉽게 재구성할 수 있는 기능이 있어, 신뢰성, 정확성, 반복 가능한 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있는 고객에게 이상적인 선택이 됩니다.
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