판매용 중고 STS / CPX Multiplex ICP #9363068
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STS/CPX Multiplex ICP는 실리콘 산화물 (silicon oxide) 과 쿼츠 (quartz) 를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수있는 고급 에칭/플라즈마 애싱 장비입니다. 최대 12 개의 기판과 2 개의 공정 챔버를 지원하는 멀티 슬롯 하단 업 로더가 특징입니다. 이 공정 챔버에는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 모두 위한 냉각팬 및 독립 고주파 전원 공급 장치가 내장되어 있습니다. 애싱 공정은 탄화물 및 석영 기판으로 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 ADIT (Addison Engineering Advanced Digital Imaging Technology) 를 기반으로합니다.이 고급 이미지 기술은 각 패스에서 기판의 고해상도 이미지를 제공하여 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 장치는 실리콘 웨이퍼, 금속, MEM의 석영, LCD 및 기타 특수 재료와 같은 다양한 기판을 에치 앤 애셔하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 포토 리토 그래피 (photolithography) 공정을 위해 박막 층을 에치 앤 애셔 (etch and asher) 하는 데 사용될 수있다. 이 기계는 내장 (BIST) 자동 조정 기능을 갖추고 있으며, 이 기능을 사용하여 프로세스 매개변수를 조정하여 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 또한 컴퓨터 제어 (computer control) 에셋이 내장되어 있는데, 이 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 단일 위치에서 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 모델은 또한 잠재적 인 사고를 방지하기 위해 안전 연동 시스템을 갖추고 있습니다. STS Multiplex ICP는 반도체, 의료 기기, 태양 광, LED 및 MEM과 같은 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. 이 장비는 또한 불화 수소, 염산, 황산, 염소 기반 화학 물질을 포함한 다양한 화학 물질과 호환됩니다. 이 시스템은 또한 사용자를 위험한 화학 물질과 연기에 노출되지 않도록 보호하는 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. CPX Multiplex ICP는 매우 안정적인 에칭/플라즈마 애싱 장치로서 일관된 결과와 반복성을 제공합니다. 이 기계는 사용하기 쉽고 자동화된 제어 (automated control) 기능을 통해 간단하게 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 기판을 에칭 (etching) 하고 세척하는 데 편리하고 비용 효율적인 옵션입니다.
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