판매용 중고 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213

STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher는 웨이퍼를 에칭 및 재싱하기위한 고도의 고급 도구입니다. 다른 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 동시에 다른 챔버에서 수행 할 수있는 멀티 존 (multi-zone) 장비입니다. 이 시스템은 고주파 전원 공급 장치 (High-Frequency Power Supply) 와 정교한 디지털 제어 시스템 (Digital Control System) 을 장착하여 사용자에게 Etch 및 Ash 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. STS Multiplex ASE ICP 에처/애셔는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에칭과 애싱을 모두 제공하는 고효율 유닛입니다. 그것 은 귀중 하고 지속적 으로 높은 압력 으로 작동 하도록 설계 되었으며, 따라서 우월 한 "웨이퍼 '마무리 와 균일 함 을 제공 해 준다. 이 기계의 플라즈마 소스 (plasma source) 와 통합 RF 매칭 네트워크 (integrated RF matching network) 는 플라즈마의 수소 희석을 최소화하여 매우 부드러운 필름 프로파일을 보장하도록 신중하게 설계되었습니다. CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher의 ICP 챔버는 또한 고출력 밀도와 고압 작동을 수용하여 가장 복잡한 에치 작업에 이상적입니다. 구리 라이너 (copper liner) 가 특징이며, 기생 커패시턴스를 줄이고 에치 공정의 반복 성과 게이지 제어를 개선합니다. 또한, 챔버의 특별히 설계된 벽 스트립은 에치 (etch) 영역의 전체 360도 범위를 보장합니다. Multiplex ASE ICP etcher/asher는 etch 프로세스 동안 웨이퍼의 모양과 프로파일을 정확하게 모니터링하고 측정 할 수있는 고해상도 디지털 이미징 (digital imaging) 도구를 갖추고 있습니다. 또한 이 에셋을 사용하면 결과를 저장하고 리콜할 수 있으며, 이를 통해 시간이 지남에 따라 에치 (etch) 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher는 높은 품질의 결과를 적시에 제공 할 수있는 매우 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼의 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 을 위한 고급 플랫폼을 제공하여 복잡한 프로세스를 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 산업, 의료, 자동차 분야의 응용 분야에 이상적입니다.