판매용 중고 STS / CPX 320PC #293678944
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STS 320PC는 마이크로 패브라이션 프로세스에 대한 반응성 이온 빔 에칭 (RIBE) 의 적용을 위해 설계된 자동 에처 및 애셔입니다. 기계는 실리콘, 유리, 금속, 도자기, 플라스틱, 석영 등 다양한 재료를 식각 할 수 있습니다. 또한 정밀도를 높이고 에칭 매개변수를 제어하기위한 초고 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 특징입니다. STS 320 PC는 고급 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 장비로, 여러 재료에서 고정밀 제작이 가능합니다. 시스템은 기판을 머시닝 챔버로 이동하는 단일 STS (Substrate Transfer Unit) 를 사용합니다. STS는 서보 모터 (servo-motor) 에 의해 제어되며 조절 가능한 척 (chuck) 이 장착되어 평평한 표면과 곡면 모두 가능합니다. STS는 또한 2 차원 또는 3 차원 패턴을 에칭 할 수있는 이중 마스크 머신을 갖추고 있습니다. 320PC 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 를 사용하면 전자 빔이 집중된 재료 표면에서 얇은 재료 층을 쉽게 제거 할 수 있습니다. 이 도구는 금속, 도자기 등 미세 하고 조잡한 물질 을 에칭 (etching) 하고 재 (ashing) 하는 데 적합 합니다. 이 자산은 광범위한 애플리케이션을 위한 고급 사이클링 및 다중 심도 에칭 기능을 갖추고 있습니다. 또한 특정 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 필요한 반응성 이온을 제공하기 위해 통합 가스 공급 모델을 갖추고 있습니다. 320 PC는 또한 고급 프로그래밍 소프트웨어 (advanced programming software) 를 통해 사용자가 에칭 매개변수와 사용자 정의 가능한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. CAD, DXF, GDSII, PNG, BMP, TIFF 및 JPG와 같은 여러 파일 형식을 사용할 수 있습니다. 또한 etch 프로세스에 대한 실시간 피드백 외에 etch 미리 정의된 etch 매개 변수에 대한 사용자 정의 프로그램 정의를 허용합니다. 또한, 장비에는 고급 안전 (Safety) 기능과 진단 도구 (Diagnostics Tool) 가 있어 사용자가 시스템의 성능을 확인할 수 있습니다. STS 320PC 는 소규모/대규모 구성 프로젝트를 위한 신뢰할 수 있는 장기 에칭 솔루션으로, 설치와 작동이 간단하며, 고급 로터리 척 (rotary chuck) 시스템과 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 사용하여 STS 320 PC는 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합합니다.
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