판매용 중고 STS / CPX 308PC #293826331
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STS/CPX 308PC는 플라즈마 에처 (plasma etcher) 및 애셔 (asher) 로, 금속 산화물과 같은 단단한 물질의 에칭 및 재싱에 이상적입니다. 이 장치에는 고출력, 정밀 제어 구성 (precision controlled configuration) 이 있어 단단한 에칭 사양과 뛰어난 표면 마무리를 달성할 수 있습니다. 고급 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 설계 및 프로세스 챔버 온도 조절을 사용하여 에칭 프로세스를 정확하게 조절합니다. 이 다재다능한 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 에칭 전에 유기 잔기를 제거하는 진공 베이크 아웃 기능도 제공합니다. STS 308PC는 자동 플라즈마 점화 기능을 갖춘 다중 가스 다이내믹 챔버로 구동됩니다. 이 시스템은 전자적으로 PEC (Plasma Source Assembly Chamber), PC (Process Pressure Chamber) 및 GBC (Gas Baffle Chamber) 로 나뉩니다. 사용자는 Plasma Type, Power Level, Gas Flow Rate, Pressure 등의 운영 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 제어는 복제가 가능하고 정확한 일관된 에치를 보장합니다. 이 에처와 애셔에는 PLC (Programmable Logic Controller) 및 컴퓨터 시스템을 통해 제어되는 25MHz RF 생성기가 있습니다. PLC (User Setup Data) 는 PLC 를 통해 영구적으로 저장되며 후속 에칭 작업의 정확도를 높여 줍니다. 컨트롤러에는 시스템의 안정적인 성능과 안전한 작동을 보장하는 자동 고전압 (High Voltage) 스위치가 포함되어 있습니다. 또한, CPX 308 PC에는 챔버의 온도를 모니터링하기 위해 온도가 내장 된 고온 챔버가 있습니다. 이 기능은 에칭 (etching) 내에서 최고 품질의 결과에 대한 정확한 온도 조절을 보장합니다. 또한, 이 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 의 인체 공학적 설계는 공간 활용도를 극대화하면서 셔터로 양방향 뷰 포트에 쉽게 액세스 할 수 있도록 함으로써 에칭 작업의 상태에 대한 완벽한 시각적 점검을 허용합니다. 챔버 도어를 열고 닫아 샘플 로딩 및 언로드를 용이하게합니다. STS/CPX 308 PC는 강력하고 다재다능한 에처 및 애셔로, 정확하고 정확하며 신뢰할 수있는 플라즈마 에칭 및 애싱 작업을 제공합니다. 고급 최첨단 챔버, 자동 프로세스 제어, 뛰어난 성능을 위한 컴팩트한 디자인 등이 특징입니다. 다양한 하드 소재 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 이상적인 장치입니다.
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