판매용 중고 STS / CPX 308PC #293601082

STS/CPX 308PC Etcher/Asher는 반도체 산업의 플라즈마 에칭 및 스트리핑 기판에 사용되는 고급 공정 구동 기기입니다. 고급 기능 (advanced features) 과 자동화된 프로세스를 염두에 두고 특별히 설계되었으며, 빠른 주기 (fast cycle time) 를 통한 효율적인 기판 준비가 가능합니다. 이 장치는 최소한의 유지보수 (maintenance required) 를 통해 사용이 간편하고 작동이 가능하도록 설계되었으며, 정확한 표준 (standard) 에 맞춰 제작되어 안정성이 뛰어납니다. STS 308PC는 에칭 및 스트리핑 기판과 관련된 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 기판에 균일 한 가스 유통을 제공하기 위해 강력한 가스 시스템을 갖춘 대형 자동 챔버 (automated chamber) 가 있습니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 및 스트리핑 (striping) 기판의 최적의 조건이 달성되도록 정교한 프로세스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. CPX 308 PC는 기판 고정점이 높고 낮은 단일 (single) 기판에서 다중 (multiple) 기판까지 다양한 재료를 에치 앤 스트립할 수 있습니다. 또한 얇은 산화물 층을 통한 에칭 (etching) 을 포함하여 균일 한 에칭 및 선택적 에칭을 모두 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 자동 분석 (automated analysis) 및 하드웨어 진단 (hardware diagnostics) 기능을 제공하며, 프로세스 흐름 시스템이 통합되어 주기 성능이 모니터링 및 최적화되도록 합니다. 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수 (programmable process parameter) 와 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 통해 사용자는 장치를 구성하고 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 장치는 절전 (power saving) 기능으로 설계되어 처리 중인 기판에 열 부하가 적습니다. 또한 자원의 최적의 소비를 보장하고 환경 낭비를 최소화하는 경제화된 시스템 (Economized System) 을 갖추고 있습니다. STS/CPX 308 PC는 다양하고 유능한 etcher/asher로 연구원 및 반 도체 산업 전문가에게 수많은 혜택을 제공합니다. 정교한 공정 제어 시스템 (Process Control System) 과 자동화된 기능을 통해 다양한 재료의 기판을 에칭 및 스트리핑하는 데 이상적인 도구입니다. 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 툴로서, 높은 품질의 결과를 제공하는 데 의존할 수 있습니다.