판매용 중고 SSEC Evergreen Series II 203 #9260711
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ID: 9260711
웨이퍼 크기: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Series II 203은 고객 웨이퍼의 통합 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장치는 패턴 전송 (pattern transfer), 에칭 (etching), 박막 증착 (thin film deposition), 도량형 (metrology) 과 같은 웨이퍼 애플리케이션에 비용 효율적인 솔루션을 제공하여 높은 처리량 웨이퍼 제작을 가능하게 합니다. Series II 203은 안정적이고 내구성이 뛰어난 Evergreen Series II 플랫폼을 기반으로하며, 고객의 웨이퍼를 원활하고 효율적으로 처리할 수 있도록 고정밀 웨이퍼 처리 시스템을 추가로 갖추고 있습니다. Series II 203 은 Direct-Drive 기술을 활용하여 더욱 뛰어난 정확성과 생산성을 제공합니다. 이 고성능, 자원 효율적인 etcher/asher 는 정확하고 정밀한 통합 모션 컨트롤 (motion control) 및 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 기술을 사용하여 고객 웨이퍼 처리에 최적의 품질과 재현성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 고급 PPVE (pre-heated vapor deposition and etching) 프로세스를 사용하여 고객 웨이퍼에 매우 얇고 밀도가 높은 기능을 생산할 수 있습니다. Series II 203에는 신뢰할 수있는 10 위치 로봇 제어 웨이퍼 처리 시스템이 장착되어 있어 여러 웨이퍼의 처리가 바람입니다. 또한 효과적인 FPI-MS (Flow Panel Interface Management System) 를 통해 프로세스 활동을 실시간으로 지속적으로 모니터링하고 분석할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 특정 고객 요구 사항에 맞게 빠르고 자동으로 wafer 프로그램을 튜닝할 수 있습니다. 이 장치에는 내구성 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 가 있으며 진공 등급은 최대 10 + 5 torr입니다. 또한 온도 모니터링을 위해 통합 쿼츠 창과 임베디드 센서가 제공됩니다. 시리즈 II 203 (Series II 203) 은 또한 처리 중인 재료의 최고 품질과 균일성을 보장하기 위해 다양한 독점 기술을 제공합니다. 이러한 기술에는 캐리어 가스, 프로세스 드리프트, 웨이퍼 로트 최적화 및 고급 데이터 로깅 기능이 포함됩니다. 안전 측면에서, Series II 203에는 다양한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 인력과 웨이퍼를 안전하게 유지하기 위해 연동 장치, 충돌 방지 시스템, 고장 방지 메커니즘을 사용합니다. 마지막으로, 이 장치는 다양한 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 제어 (control) 를 통해 설계되어 장치의 작동과 유지 관리를 쉽고 간편하게 수행할 수 있습니다.
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