판매용 중고 SPTS Sigma #293751255

SPTS 시그마 (SPTS Sigma) 는 고급 마이크로 제조 공정에서 포토 esist 및 기타 재료 층을 웨이퍼에서 제거하기 위해 설계된 에처/애셔입니다. 그것 은 "가공소재 '와" 에쳐' 사이 에서 쉽게 옮길 수 있도록 설계 되었다. 시그마 (Sigma) 는 매우 낮은 입자 생성을 위해 설계된 공정 챔버 (process chamber) 를 포함하여 높은 정밀 기계입니다. 높은 프로세스 속도; 뛰어난 에치 레이트 제어. SPTS 시그마 에처 (Sigma etcher) 의 주요 특징은 에칭 기능과 애싱 기능을 모두 단일 장치에 통합 한 통합 진공/플라즈마 장비입니다. 즉, 다중 프로세스 흐름 경로를 수용하여 효율적인 인라인 (inline) 처리를 허용합니다. 또한, 이 시스템에는 가공소재에 따라 프로세스를 최적화하고 일관된 에치 (etch) 결과를 보장하는 자동 진공 스위칭 (automatic vacuum switching) 이 포함되어 있습니다. 제어하기 위해, 시그마 (Sigma) 에는 원하는 에치에 필요한 수량, 기능, 매개변수를 정확하게 프로그래밍할 수있는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 수동 프로세스와 완전 자동화 프로세스 모두에 사용할 수 있습니다. 안전 및 유지 보수 측면에서 SPTS 시그마 (SPTS Sigma) 는 사용자 안전을 보장하기 위해 다양한 조치를 취합니다. 여기 에는 "에처 도어 '가 열릴 때 기계 가 작동 되는 것 을 막는" 인터록' 장치 와 잠재적 인 물 누출 을 제어 하는 데 도움 이 되는 "워터탱크 '압력 조절 장치 의 부가 된 특징 이 포함 된다. 또한, Sigma는 최소한의 예방/진단 유지 관리를 통해 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 SPTS 시그마 (SPTS Sigma) 는 강력하고 비용 효율적인 에칭 및 애싱 툴로서, 정밀 결과, 안전 및 신뢰성을 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 마이크로제작공정 (micro-fabrication process) 에 이상적이며, 프로세스를 최첨단 표준으로 끌어올리기 위한 최상의 선택이다.