판매용 중고 SPTS Sigma FxP #9353219

SPTS 시그마 FxP (Sigma FxP) 는 다양한 재료의 고정밀, 고출력 에칭 및 재싱을 가능하게하도록 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 높은 수준의 성능과 낮은 TCO (총소유비용) 를 결합하여 연구와 산업용 모두 이상적인 선택입니다. 이 장치는 일련의 800W, 13.56MHz 소스 자석 (13.56MHz) 으로 구동되는 펄스 플라즈마 (pulsed plasma) 기술을 사용하여 광범위한 재료와 웨이퍼 크기에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다. 기계는 컴퓨터 제어 프로세스 시퀀서 (computer-controlled process sequencer) 에 의해 제어되며, 이를 통해 에칭 및 애싱 레시피를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구에는 최대 4, "8" 또는 12 "웨이퍼를 처리하는 데 사용할 수있는 온보드 진공 척이 있습니다. Sigma FxP에는 레시피 설정 및 모니터링이 용이한 고해상도 광학 뷰 포트 (optical view port) 와 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 보조 모니터링을 위한 2 - 뷰 포트 (2 - view port) 등 다양한 고급 기능이 있습니다. 이 자산에는 프로세스 단계 간 웨이퍼 로딩 자동화, 시간 절약, 효율성 증대 등을 자동화하는 자동 웨이퍼 로딩 (automated wafer loading) 모델도 포함되어 있습니다. 또한 SPTS Sigma FxP 장비는 기존 레시피를 수정하고 사용자 요구에 가장 적합한 맞춤형 레시피를 만들 수있는 충분한 유연성을 제공합니다. 이것은 시스템의 온보드 레시피 데이터베이스 (예: 모든 에칭 및 애싱 레시피 및 매개변수 저장) 를 통해 달성 될 수 있습니다. 또한, 이 장치는 낮은 소유 비용을 자랑하며, 단 몇 시간 동안 사용 한 후 큰 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, 시그마 FxP (Sigma FxP) 에처 및 애셔 머신 (asher machine) 은 최소한의 소유 비용과 우수한 결과와 함께 고급, 정밀한 에칭 및 애싱 요구를 충족하는 훌륭한 솔루션을 제공합니다. 이 툴은 리서치 (Research) 와 산업 환경 (Industrial Settings) 모두 이상적인 선택으로, 특정 요구 사항과 요구 사항을 충족하기 위해 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.