판매용 중고 SPTS PRIMAXX #293811099

SPTS Primaxx 는 고급 Etch/Ash 프로세스 툴로서 단일 플랫폼에서 여러 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 혁신적인 디자인과 첨단 기술로 총소유비용 (TCO) 이 낮아지면서 반도체 업계에 이상적인 공정 (process) 툴이 됐다. 이 장비는 높은 처리량 반응성 이온 에치/애쉬 (RIE) 공정과 결합 된 독특한 저전력 플라즈마 에치/애쉬를 특징으로합니다. 2 인 1 시스템은 에치 및 애쉬 연산 모두에 왕복 양방향 전자 빔을 갖는다. 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 혈장 균일성은 99.98% 입니다. Primaxx는 또한 방향족 화합물 필름 히터 (compound film heater) 와 전자 빔 가열 요소가있는 빠르고 효율적인 가열 장치를 갖추고 있습니다. 기계는 10 분 이내에 최대 400 ° C의 웨이퍼를 가열 할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 성능을 향상시키기 위해 에치 속도 (etch rate) 와 증착률 (deposition rate) 로 균일 한 필름을 만들 수 있습니다. SPTS Primaxx는 실리콘, 유리, 갈륨 비소, 인화 인듐 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 MEMS, LED 및 광전자 구성 요소와 같은 특수 장치를 처리 할 수 있습니다. Primaxx의 동작 제어 도구는 높은 정확도 에치 및 애쉬 연산을 위해 설계되었습니다. 통합 (Integrated) 연동 메커니즘을 통해 정확한 위치 지정 (Positioning) 과 정렬 (Alignment) 을 통해 단일 웨이퍼에서 여러 작업을 수행할 수 있습니다. SPTS Primaxx는 완전히 자동화된 소프트웨어 제어 프로세스를 실행합니다. 처리량이 많은 단일 패스 etch/ash 작업이 가능합니다. 따라서 R&D 및 운영 애플리케이션에 모두 적합하므로, 사용자는 다양한 자료를 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다. Primaxx 는 다양한 프로세스 옵션을 제공하며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 여기에는 에치와 재, 에치와 증착, 또는 둘의 조합이 포함됩니다. 또한 웨이퍼-웨이퍼 프로세스 일관성을 허용하는 자동 보정 자산도 제공합니다. 자동화된 모델은 원격으로 관리 및 모니터링할 수 있습니다. SPTS Primaxx 는 탁월한 비용 대비 성능 비율을 제공하는 고급 다용도 etch/ash 툴입니다. 대용량 생산에서 탐사 연구 (exploratory research) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 강력한 기능과 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 를 통해 반도체 업계에 이상적인 선택이 가능합니다.