판매용 중고 SPTS PRIMAXX #293810530

SPTS Primaxx는 가장 까다로운 마이크로 머칭 요구 사항에 적합한 정밀 건식 및 애싱 (ashing) 솔루션입니다. 프리맥스 (Primaxx) 는 에치 화학 및 기질 온도의 정확한 제어를 위해 신뢰할 수있는 기질 회전 구성 요소를 사용하여 일관되게 고품질 제품을 생성합니다. SPTS Primaxx는 Low Stress Wafer Holder를 추가하여 최대 200mm 직경의 실리콘 및 복합 재료를 처리 할 수 있습니다. Primaxx 는 최신 하드웨어/소프트웨어를 기반으로 구축되어 있어, 광범위한 프로세스 기능과 유연성을 제공합니다. 고유한 프로세스 흐름 제어 (process flow control) 메뉴를 사용하면 고유한 레시피를 쉽게 선택하고 여러 웨이퍼에 걸쳐 반복할 수 있습니다. SPTS Primaxx는 고급 자동 재순환 펌프 관리 (auto-recirculate pump management) 를 통해 에치 화학 물질을 수동으로 보충할 필요가 없습니다. Primaxx는 연구 및 생산 시설에서 처리량이 많은 생산을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 에치 선택 레시피 (etch select recipe) 를 가지고 있어 높은 디테일 패턴화에 필요한 조건을 만듭니다. 에치 선택 (etch select) 기술은 또한 빈번한 스크러빙의 필요성을 제거하여 장기 에칭 정확도를 향상시킵니다. 또한 SPTS Primaxx에는 에치 (etch) 및 클리닝 (clean) 매개변수를 설정하기 위한 전체 프로세스 및 진단 도구를 갖춘 개방형 아키텍처, PC 기반 프로세스 제어 시스템이 포함되어 있습니다. Primaxx는 다양한 기능의 견고한 에처/애셔 (etcher/asher) 로서, 조정 가능한 간격 흐름 형성, 조정 가능한 가스 흐름 제어, 조정 가능한 압력 제어 설정 등 정확한 성능을 보장하고 소모품을 최소화합니다. 조작. 또한 다양한 가이드 카 및 웨이퍼 캐리어와 호환되며, 정기적 인 유지 보수로 SPTS Primaxx가 가장 정확한 표준을 충족시킵니다.