판매용 중고 SPTS Omega i2L #293667514
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SPTS Omega i2L은 고성능 로봇 및 완전 자동 웨이퍼 에칭/마스킹 도구입니다. 고급 웨이퍼 에칭 및 표면 준비와 자동 웨이퍼 마스킹을 결합한 CD (coater/developer) 장비입니다. 이 시스템은 박막 기판에 미세 피쳐 구조를 에칭 (etching), 패턴 (patterning) 및 리소그래피 (lithography) 제작하는 프로세스에 효과적인 솔루션을 제공합니다. Omega i2L은 대용량 제조 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. MEMS 구성, DRIE (Deep Reactive Ion Etching), 리소그래피, 두껍고 얇은 기판의 금속화 및 기타 고정밀 응용 프로그램과 같은 고급 프로세스에 대한 최대 처리량과 안정적인 결과를 제공합니다. 로봇이 제어하는 기술과 고급 에칭 프로세스 (advanced etching process) 를 활용하면 처리량이 증가하면서 높은 수준의 정확도를 얻을 수 있습니다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling), 정확한 타이밍을 위한 동작 제어, 온도 조절, 매우 정확한 웨이퍼 포지셔닝 등 다양한 통합 기능이 장착되어 있습니다. 최적 의 성능 을 얻기 위해, 기계 는 고도 의 "웨이퍼 '마스킹 스테이션 으로 설계 되었는데, 이것 은 자동" 웨이퍼 핸들러' 와 통합 되어 있다. 또한 photomask 정렬 및 유효성 검증 도구를 포함하는 소프트웨어 패키지도 제공합니다. SPTS 오메가 i2L (SPTS Omega i2L) 은 견고한 터치 스크린 인터페이스로 제어되므로 설치 및 엔지니어링 프로세스 제어가 용이합니다. 사용자 친화적인 이 소프트웨어는 단순화된 워크플로우를 제공하여 처리 시간을 대폭 단축할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 이동 안전 잠금 (Motion Safety Lock) 및 고속 에칭을 위한 고장 안전 (fail-safe) 작업과 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로, 오메가 i2L (Omega i2L) 은 신뢰할 수있는 에칭 자산이 필요한 사람들에게 이상적인 선택입니다. 고급 기능과 정확성 (Accuracy) 의 통합을 통해 최신 프로세스를 처리할 수 있으며, 이를 통해 고객은 매우 상세한 구조를 신속하고 경제적으로 생성할 수 있습니다.
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