판매용 중고 SPTS Multiplex ASE ICP #9158122

SPTS Multiplex ASE ICP는 SPTS Technologies Ltd에서 제공하는 Multiplex ASE 시리즈 제품의 플라즈마 에처/애셔입니다. 유럽에 기반을 둔 SPTS는 에치 앤 증착 산업 (etch and deposition industry) 에 대한 오랜 전문 지식을 갖추고 있으며, 반도체 기판의 플라즈마 에칭 및 재싱을위한 모든 기능을 갖춘 툴셋을 제공합니다. Multiplex ASE ICP는 최신 단일 챔버 RF 및 ICP 소스 기술을 사용하는 독특한 소형 디자인을 갖춘 ICP (inductively-coupled plasma) asher/etcher입니다. 이 제품은 여러 기판에서 복잡한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 동시에 수행 할 수 있으며, 프로세스 온도는 최대 400 례입니다. 이 공구에는 또한 독점적 인 퀸치 (quench) 와 퍼지 장비 (purge equipment) 와 물 응축을 최소화하고 우수한 발작 공정을 제공하기 위해 설계된 ancryogenic 시스템이 장착되어 있습니다. SPTS Multiplex ASE ICP는 2D 및 3D 장치 구조와 초얕은 접합 (USJ) 프로세스에 이상적인 도구입니다. ICP 소스는 우수한 에칭/애싱 균일성 및 프로세스 반복성을 제공하여 처리량이 높고 반복 가능한 결과를 제공합니다. RF 소스는 튜닝 및 주파수 최적화 시간을 방지하는 자동 조정 장치 (auto-tune unit) 로 완성됩니다. 이 기계는 또한 RF 에너지에 기질의 노출을 최소화하면서 안정적이고 일관된 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 보장합니다. Multiplex ASE ICP의 ICP 소스 및 RF 소스는 어려운 에칭/애싱 프로세스를 최적화할 수 있도록 정밀도로 구성 할 수 있습니다. 공구 세트는 또한 고급 압력 (Advanced Pressure) 및 온도 제어 (Temperature Control) 를 특징으로하며, 기판 재료 특성 및 공정 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. SPTS Multiplex ASE ICP에는 광범위한 etch/ash 응용 프로그램을 제공하는 다양한 기능이 있습니다. 고밀도 ICCD 에치 공정이 가능한 고밀도 척 탑 코팅 (chuck top coating) 이 있으며, 이 도구는 텅스텐, TiN, 산화물 구리, Mo 및 Co. 이 고급 (Advanced) 도구 모음을 사용하면 프로세스 시간을 유연하게 일치시킬 수 있으므로 프로세스 워크플로우를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 Multiplex ASE ICP (Multiplex ASE ICP) 는 강력하고, 컴팩트하며, 다양한 툴셋으로, 광범위한 기판 재료를 에치/애쉬하고 여러 기판에서 동시에 복잡한 에칭 프로세스를 수행할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 시스템 및 정확한 에칭 매개변수는 2D 및 3D 장치 구조뿐만 아니라 USJ (Ultra Shallow Junction) 프로세스에 이상적인 도구입니다.