판매용 중고 SPTS LPX APS Pro #9294793
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9294793
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2014
Etcher, 8"
Single chamber (Aluminium)
Load-locked
Capable, 8"
Process chamber: APS PM
APS PM Chamber:
SiC / GaN
Oxide
Nitride
Deep oxide
Glasses
Sapphire
PZT / Pt
LPX Single Wafer Load Lock
Multiplex ICP process chamber:
Magnetic and heated chamber
LEYBOLD Turbo pump
Heated VAT pendulum valve
Backside helium cooling
Extracted gas box with orbitally welded gas lines
Electronics Rack
LCD flat panel monitor
MKS Capacitance manometer (0.1 Torr)
MKS Spectrum RF generator (Source)
MKS Spectrum RF generator (Bias)
VERITY optical endpoint detector
EDWARDS iH80 vacuum pump (or equivalent)
ALCATEL ACP28 vacuum pump (or equivalent)
SMC Thermo chiller
System cables
Gas box: N2, SF6, He, Ar, O2
Operations manuals
Electrical drawings
Documentation (Complete manual set)
System power: 400 V, 80 A, 50 Hz, 3 PH+N
2014 vintage.
SPTS LPX APS Pro는 연구 및 산업 응용 프로그램 모두를 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 처리 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 프런트엔드 로드 및 언로드 및 현장 내 프로세스 제어/모니터링에 최신 기술이 적용된 고급 SmartProcess (tm) 플랫폼으로 구성됩니다. 이 장치는 신뢰성이 높고, 빠르고, 효율적이며, 뛰어난 사용자 친화성, 확장성, 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 주요 특징은 다음과 같습니다. 높은 에칭 및 애싱 효율성 - 기계는 고급 플라즈마 제너레이터 (plasma generator) 와 고급 가스 믹싱 시스템 (eching and ashing process) 을 갖추고 있어 보다 정밀하고 에칭 및 애싱 프로세스를 제어합니다. 따라서 이터레이션 수가 적고 프로세스 시간이 단축되어 처리량이 향상됩니다. SmartProcess ™ 플랫폼 (SmartProcess ™ platform) - 사용자는 고급 프로세스 자동화 플랫폼을 사용하여 프로세스 매개변수와 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 따라서 특정한 요구 사항에 맞게 자산을 최적화하고, 효율성과 성능을 극대화할 수 있습니다. 현장 프로세스 제어 및 모니터링 (In-situ process control and monitoring) - 이 모델에는 에칭 및 어싱 (ashing) 프로세스에 대한 실시간 모니터링 및 제어를 제공하는 강력한 프로세스 모니터링 장비가 장착되어 있습니다. 따라서 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 프로세스 설정을 적절히 조정할 수 있습니다. 다재다능성-이 시스템은 실리콘, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI), 에피 택시 및 갈륨 비소 (GaAs) 와 같은 다양한 유형의 웨이퍼와 함께 사용할 수 있습니다. 또한이 장치는 리소그래피, DRIE (deep reactive ion etching) 및 ion milling과 같은 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 사용 편의성 - 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 사용자는 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한, 이 툴에는 종합적인 문서와 교육 자료가 포함되어 있으며, 사용자는 자산을 빠르고 쉽게 마스터할 수 있습니다. 고정밀 엔지니어링 (High-precision engineering) - 이 모델은 뛰어난 정확도와 제어를 위해 고정밀 엔지니어링으로 설계되었습니다. 또한, 서비스 수명 연장 및 유지 보수 비용 최소화를 위해 설계되었습니다. 확장성 (Scalability) - 이 장비는 더 크고 복잡한 에칭 앤 애싱 (etching and ashing) 시스템을 만들기 위해 쉽게 구성할 수 있는 모듈식 부품으로 설계되었습니다. 전반적으로 LPX APS Pro는 최첨단 기술과 고도의 정밀 엔지니어링을 결합하여 효율성, 성능, 정확성을 최적화하는 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 리서치 애플리케이션 (Research Application) 과 산업 애플리케이션 (Industrial Application) 모두에 적합하며 신뢰성이 높고 빠르고 사용이 간편하도록 설계되었습니다.
아직 리뷰가 없습니다