판매용 중고 SPTS / APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150 #293831476

SPTS/APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150은 반도체 산업의 마이크로 패브레이션 프로세스를 위해 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 이 다재다능한 도구는 반도체 장치, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 구성 요소의 생산에서 에칭 및 청소 응용 프로그램에 널리 사용됩니다. SPTS MVD150 의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능으로, 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원합니다. 이는 반도체 제조에서 높은 수율과 신뢰성을 달성하는 데 필수적인, 뛰어난 프로세스 균일성 (process unifority) 및 장치 성능을 제공합니다. 이 시스템은 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 애싱 (ashing) 기술을 결합하여 기판에서 재료를 선택적으로 제거합니다. "플라즈마 '원 은 기판 표면 에서 물질 과 상호 작용 을 하는 반응 을 보이는 종 들 을 발생 시키며, 그 로 인해 기판 을" 에칭' 하거나 청소 한다. 응용 미세 구조 MVD150 (APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150) 에는 다양한 재료 및 프로세스 요구 사항을 충족하는 다양한 가스 소스 및 프로세스 레시피가 장착되어 있습니다. MVD150은 압력, 온도, 가스 유속 등 정확한 프로세스 조건을 유지하는 고성능 진공실을 갖추고 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 제어 환경에서 수행되므로 오염을 최소화하고 높은 공정의 반복 가능성을 보장할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 RF (Radio Frequency) 전원 공급 장치가 장착되어 있어 챔버에서 플라스마를 만들고 유지하는 데 필요한 에너지를 제공합니다. RF 전원을 변조하여 각기 다른 재료 및 기판의 프로세스 조건을 최적화하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. SPTS/APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150에는 가스 유속 및 혼합물을 정확하게 제어 할 수있는 최첨단 가스 전달 머신이 장착되어 있습니다. 이 로 말미암아 "가스 '의 올바른 결합 이" 에칭' 과 "애싱 '과정 중 에 챔버 에 전달 되므로 선택성 과 균일성 이 높은 물질 을 선택적 으로 제거 할 수 있다. 이 도구는 운영자가 실시간으로 프로세스 매개변수를 프로그래밍 및 모니터링할 수 있는 사용자 친화적 (user-friendly) 인터페이스로 제어됩니다. 프로세스 레시피는 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 손쉽게 맞춤 구성할 수 있으며, 데이터 로깅 및 보고 (Reporting) 기능을 통해 프로세스 최적화 및 문제 해결을 수행할 수 있습니다. SPTS MVD150 은 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었으며, 운영 중 운영자와 장비를 보호하기 위한 인터 록 (interlock) 과 안전 시스템 (safety system) 을 갖추고 있습니다. 이 자산은 또한 손쉬운 유지 보수 (maintenance) 를 위해 설계되었으며, 액세스 가능한 구성 요소와 서비스 가능한 부품으로 다운타임을 최소화하고 무중단 운영을 보장합니다. 전반적으로, APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150은 반도체 산업에서 미세 구성 프로세스에 탁월한 성능과 정밀도를 제공하는 최첨단 에처/애셔 모델입니다. 고급 프로세스 제어 기능, 다용도 가스 배송 장비, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 MVD150은 고품질, 신뢰성 있는 장치 제작을 원하는 반도체 제조업체에 적합한 툴입니다.