판매용 중고 SPS Plamax #293664085

SPS Plamax는 반도체 장치 제작 프로세스에 사용되는 고성능 에칭 및 애싱 시스템입니다. 고온, 자동 에칭 및 애싱 (ashing) 장치이며, 단기 및 고온 지속 애싱 적용을 용이하게합니다. Plamax는 용광로, RF 생성기 및 RIE 도구의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 용광로의 온도 범위는 최대 1100 ° C이며, 정확한 제어를 통해 빠른 온도 램프 기능을 제공합니다. 또한 수직 리프트 처리 (vertical lift processing) 가 포함되어 있어 200mm에서 400mm 사이의 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. RF 생성기는 가변 전력 출력을 제공하여 두꺼운 재료를 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. RF 발전기는 또한 Ar/O2에서 SF6/O2 (SF6/O2) 까지 다양한 처리 가스 혼합물을 가지고 있으며, 에칭 및 애싱 결과를 충분히 제어 할 수 있습니다. RIE 도구는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 정확한 에칭 깊이 제어와 매끄러움을 제공하여 화면 비율이 높고 화면 제어가 뛰어납니다. 또한 자동화된 프로세스 제어 시스템 (process control system) 을 통해 고정밀도, 반복 가능한 프로세스와 최대 반복성 및 일관성을 제공합니다. SPS Plamax는 배치 및 단일 웨이퍼 구성을 모두 지원합니다. 자동 카세트-카세트 전송을 통해 완벽한 웨이퍼 처리 및 빠른 작동이 가능합니다. 특수 모듈 (Special module) 은 정밀 정렬을 제공하고 고르지 않은 웨이퍼 구조의 영향을 최소화하는 기판 위치를 제어할 수 있습니다. Plamax는 높은 수율, 높은 정확도, 빠른 에치 및 애싱 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 프로세스 제어 기능과 신뢰성 있는 시스템 성능으로 '디바이스 구성' 을 선호합니다. 다양한 프로세스 기능을 통해 SPS 플라맥스 (SPS Plamax) 는 다양한 기판에 걸쳐 다양한 두께를 가진 다양한 재료를 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 하는 데 사용될 수 있습니다.