판매용 중고 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863

SPPT/SPTS VPX Pegasus는 반도체 및 관련 산업을위한 고급 제조 솔루션 분야의 선도적 인 혁신가 인 SPPT Technologies가 개발 한 etcher/asher입니다. 이 다재다능한 에처/애셔 (etcher/asher) 는 산화, 금속 에치, 증착 및 평면 화 프로세스를 수행하여 기판 손상을 최소화하고 프로세스 변동성을 최소화하면서 여러 기판에서 일관된 품질을 보장하도록 설계되었습니다. SPPT VPX 페가수스 (Pegasus) 는 마이크로 포지셔너 (micro-positioner) 를 사용하여 프로세스의 균일성과 반복성을 유지하면서 에칭, 산화 및 평면 화 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 빠르고 정확한 프로세스 조정, 처리량 및 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 페가수스 (Pegasus) 의 혁신적인 진공 장비 및 챔버 디자인은 오염을 줄이고 최적의 플라즈마 조건을 보장하여 우수한 에칭 및 산화 결과를 가능하게합니다. SPTS 페가수스 (SPTS Pegasus) 는 강력하면서도 사용하기 쉬운 제어 시스템을 갖추고 있어 정밀한 프로세스 제어 및 장치 모니터링이 가능합니다. 사용자 친화적 인터페이스는 빠르고 정확한 프로세스 매개변수를 보장하는 한편, 고급 시스템 (advanced machine) 과 프로세스 (process) 설정을 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이렇게 하면 반복 가능해지고 프로세스 최적화가 향상됩니다. 향상된 품질 및 신뢰성을 위해 SPPT/SPTS Pegasus에는 자동 프로세스 안전 검사, 안전, 보안 및 절차 경보 (옵션) 등 통합 안전 메커니즘도 있습니다. 가장 높은 안전 기준 (Safety Standard) 을 보장하기 위해 도구에 의해 모든 안전 조건이 모니터링되며, 수정 조치를 위해 결함이 자동으로 감지됩니다. SPPT 페가수스 (SPPT Pegasus) 는 습식 및 건식 에칭, 산화 및 침착 및 평면 화 과정을 모두 수행 할 수있는 다목적 에처/애셔입니다. 광범위한 프로세스 (process) 기능을 통해, 사용자는 다양한 기판과 재료에 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. 또한 SPTS 페가수스 (Pegasus) 는 구성 가능하도록 설계되었습니다. 즉, 사용자가 자산을 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 재료 와 기판 의 "에칭 '및" 플레너라이제이션' 을 위한 안정적 이고 효율적 인 과정 을 요하는 사람 들 에게 이상적 인 선택 이다.