판매용 중고 SORONA SIE-3102 #9366568

SORONA SIE-3102 (SORONA SIE-3102) 는 다양한 기판에 대해 정확하고 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공 할 수있는 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 기계는 수평/수직으로 정렬된 에칭 테이블을 사용하여 정확한 위치 지정 및 최적의 에칭 결과를 보장합니다. SIE-3102에는 깨끗한 진공 에칭 및 애싱 (ashing) 환경을 제공하기 위해 잔해를 제거하는 내장 드라이 타입 클리닝 시스템이 있습니다. 에칭 테이블은 직경 최대 5 인치의 내부 에칭 영역을 제공 할 수 있으며, 에치 속도는 0.005 마일/분 ~ 20 마일/분입니다. 소로 나 SIE-3102 (SORONA SIE-3102) 에는 이온 펌핑을 사용하여 오염이나 손상없이 큰 기질을 에칭하기 위해 -28 torr의 진공 수준에 도달하는 진공 챔버가 있습니다. 이 기계는 또한 반응성 이온 에칭과 유사한 동시 열 실리콘 산화물 제거 기능을 가지고 있으며, 최대 1300 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. SIE-3102는 전자 빔 (e-beam) 및 이온 빔 (ion beam) 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 통해 높은 선택성과 높은 미러 이미지 정의를 제공하기 위해 자기장을 사용합니다. 이 기계는 최대 0.5um 깊이로 에치 (etch) 할 수 있으며, 높은 종횡비 개체에 사용됩니다. 또한 최대 20 nm/min의 열 산화물 제거 속도와 최대 10 nm/min의 wafer back side passivation 속도를 갖습니다. 에칭/어싱은 사용자 친화적이고 간단한 다중 축 제어 환경에서 수행됩니다. 또한 SORONA SIE-3102 (기본 제공 이미지 처리 소프트웨어) 는 사용자가 에칭 매개변수를 조정하여 가장 정확한 결과를 얻을 수 있도록 해줍니다. 이 소프트웨어의 도움으로 사용자는 HD (고화질) 와 충실도 (충실도) 로 쉽게 에칭 패턴을 생성할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터에는 실시간 모니터링 시스템 (real-time monitoring system) 이 있어 etching 프로세스 동안 필요한 조정 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로, SIE-3102는 다양한 기질에 대해 정확하고 정확한 에칭을 제공 할 수있는 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 기계는 사용자 친화적이며 간단하며, 조정 가능한 진공 시스템, 열 산화물 제거 기능, 정확한 결과를 위한 이미지 처리 소프트웨어 (image processing software) 도 갖추고 있습니다. SORONA SIE-3102 (SORONA SIE-3102) 는 다양한 크기와 모양의 기판에 사용하기에 적합하며, 고화질의 고화질 이미지를 만드는 데 사용할 수 있습니다.