판매용 중고 SINGULUS / STANGL Singular XP ISE #293752400
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ID: 293752400
빈티지: 2015
ICP-PECVD System
IR Heater station
(2) EDWARDS iXH1820 Pumps with power supply
Profibus D397-52-880 module
EDWARDS iXL120 Turbomolecular pump
(8) EDWARDS STP-iX3006C Turbomolecular pumps
(4) EDWARDS STP-1003C Turbomolecular pumps
SIEMENS PLC
FESTO Pneumatics
HAMLET Valve
BROOKS AUTOMATION Mass Flow Controller (MFC)
(20) MITSUBISHI MR-J3 Servo amplifiers
(4) ADVANCED ENERGY Apex 5708009 HF Generators
Sensors
LENZE Servomotors
2015 vintage.
SINGULUS/STANGL Singular XP ISE는 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 도구는 실리콘 웨이퍼에서 정확하고 균일 한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 제공하여 높은 처리량과 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. STANGL 싱글 XP ISE (Singular XP ISE) 는 혁신적인 기술과 견고한 설계를 통해 탁월한 성능과 안정성을 제공하므로 반도체 제조업체가 생산 과정에서 최고의 생산성과 효율성을 달성하고자 하는 이상적인 솔루션입니다. SINGULUS Singular XP ISE (최첨단 프로세스 챔버) 는 에칭/애싱 프로세스를 최적화하여 성능 및 반복 가능성을 극대화합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 웨이퍼 표면에 걸쳐 이온과 라디칼의 균일 한 분포를 보장하는 고급 플라즈마 생성 기술을 갖추고 있으며, 이로 인해 에칭/애싱 속도와 균일성이 일관됩니다. 이 정밀도 (precision) 와 제어 (control) 수준은 더 작은 기능 크기와 높은 밀도로 고급 반도체 장치의 엄격한 프로세스 요구사항을 달성하는 데 필수적입니다. 단일 XP ISE (Singular XP ISE) 의 주요 기능 중 하나는 다양한 프로세스 기능으로, 광범위한 에칭/애싱 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 실리콘 에칭을위한 플루오린 기반 화학 물질, 유기 및 무기 재싱을위한 산소 기반 화학 물질 등 다양한 공정 가스를 지원합니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 제조업체는 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 조정하여 장치 설계의 특정 요구 사항을 충족시켜 최적의 성능 및 생산성을 보장합니다. SINGULUS/STANGL Singular XP ISE는 고급 프로세스 기능 외에도 생산성과 사용 편의성을 향상시키는 다양한 지능형 (Intelligent) 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 높은 처리 속도 (throughput operation) 를 제공하도록 설계되었으며, 빠른 펌핑 및 제거 주기를 통해 프로세스 실행 사이의 다운타임을 최소화합니다. 또한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 정확하게 제어하고 최적의 결과를 보장하며 오버에칭 (over-etching) 또는 언더 애싱 (under-ashing) 의 위험을 줄일 수있는 고급 엔드 포인트 감지 기술을 제공합니다. STANGL Singular XP ISE (Singular XP ISE) 는 반도체 제조 환경의 엄격함에 견딜 수있는 견고성 강화 (Rugged Construction) 를 통해 최고의 품질 및 신뢰성 표준을 기반으로 제작되었습니다. 이 시스템은 장기 성능, 낮은 TCO, 손쉽게 교체할 수 있는 구성 요소, 최소한의 유지 보수 요건을 충족하도록 설계되었습니다. 이를 통해 반도체 제조업체는 SINGULUS Singular XP ISE (Singulus Singular XP ISE) 를 사용하여 일관성 있고 안정적인 성능을 확보하고 다운타임을 줄이고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 전체적으로 Singular XP ISE는 반도체 제조 응용 프로그램에 탁월한 성능, 안정성 및 다용성을 제공하는 최첨단 etcher/asher 도구입니다. 고급 기술, 정확한 프로세스 제어 및 지능형 기능을 갖춘 SINGULUS/STANGL Singular XP ISE (Singular XP ISE) 를 통해 반도체 제조업체는 생산 프로세스에서 높은 수익률과 품질을 달성할 수 있으며, 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하고, 오늘날의 빠른 반도체 시장에서 경쟁력을 앞서고 있습니다.
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