판매용 중고 SINGULUS Silex II cleantex 2800 #9353274
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SINGULUS Silex II cleantex 2800 etcher/asher는 일관된 결과를 제공하는 고정밀도, 비용 효율적인 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 제품은 엔드 유저 (End User) 와 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 의 요구 사항을 모두 충족하도록 특별히 설계된 프로세스 매개변수를 갖추고 있습니다. 클랜 텍스 2800 (Cleantex 2800) 은 독립형 에처/애셔 (Etcher/Asher) 시스템으로, 통합 프로세스 제어 장치 (Integrated Process Control Unit) 와 다양한 최적화 기능을 포함하여 고유한 고급 기능을 조합하여 포토레지스트와 두꺼운 레이어를 빠르고 정확하게 처리합니다. 클랜 텍스 2800 (Cleantex 2800) 은 실리콘 웨이퍼, 두꺼운 필름 및 반도체 장치의 고정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. 기계에는 딥 에칭 (deep etching), 포켓 에칭 (pocket etching) 및 딥 애싱 (deep ashing) 과 같은 다양한 에칭 및 애싱 옵션이 장착되어 있습니다. "애싱 '과정 은 닫힌 세포 내 에서 수행 되는데, 이 세포 는 동종 이고도 반복 할 수 있는 결과 를 위하여 산소" 피드' 속도 를 정확 하게 조절 한다. 단위에는 공정 (tight process) 매개변수가 제공되어 단시간에 고정밀도 (high-precision) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 반복성이 높은 최적의 프로세스 결과를 제공합니다. '빠른 애싱 (Rapid ashing)' 프로세스는 많은 수의 웨이퍼에 대해 높은 처리량을 제공합니다. 통합 프로세스 제어 자산 인 'Smartview' 는 실시간 데이터 피드백 및 프로그래밍 지원을 제공합니다. 또한 Cleantex 2800의 'Smartdry' 기능은 고품질 결과를 얻기 위해 매시 후 균일 한 웨이퍼 건조를 보장합니다. Cleantex 2800에는 작은 발자국이 있으며 처리 드럼에 최대 50 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 쉽게 작동할 수있는 직관적인 터치 스크린 인터페이스가 있습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 (TouchScreen) 메뉴를 사용하여 원하는 매개변수 세트를 선택하고 신속하게 프로세스를 시작할 수 있습니다. 이 모델은 자동 프로세스와 프로그래밍도 지원합니다. 편의를 위해 Cleantex 2800에는 데이터 로깅 기능이 있으며 비활성 가스 전달을위한 진공 포트 (vacuum port) 가 제공됩니다. Cleantex 2800 의 뛰어난 내구성, 낮은 유지 관리 비용, 최종 사용자 및 프로세스 엔지니어 모두에게 탁월한 선택입니다. 운영 비용 절감, 에너지 효율성 향상 (Energy Efficient Operation) 은 다양한 소재 처리 능력과 마찬가지로 추가적인 장점입니다. 또한 사용자 지정 (high degree of customization) 기능을 통해 장비를 특정 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. Cleantex 2800 (Cleantex 2800) 은 일관되고 비용 효율적인 결과를 제공하는 다양한 기능과 옵션을 갖춘 고정밀 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다.
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