판매용 중고 SHIBAURA U-ASH8100 #9226134

제조사
SHIBAURA
모델
U-ASH8100
ID: 9226134
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Etcher, 6" 1997 vintage.
SHIBAURA U-ASH8100은 모든 연구 또는 산업 실험실에서 사용하도록 설계된 습식 에칭 머신입니다. 완전 자동화 머신 (Fully Automated Machine) 으로, 사용자에게 에칭 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. "실리콘 '," GaAs' 및 기타 재료 들 을 식각 할 수 있는 능력 이 있으며, 균일성 과 정확도 가 높다. 이 기계에는 에칭 (etching) 프로세스의 실시간 추적을 제공하는 온보드 컴퓨터 (on-board computer) 가 장착되어 있어 매개변수를 세밀하게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 이 에칭 머신은 챔버와 에칭 유닛의 두 부분으로 구성됩니다. 약실은 에칭 프로세스가 진행되는 영역입니다. 수성 케이싱 (water-proof casing), 자동 스테이징 플랫폼, 에칭 액체의 온도, 압력, 전력 및 흐름을 조절하는 여러 제어 센서로 구성됩니다. 에칭 장치 (etching unit) 는 플루오린화 수소산 (fluoric acid) 과 같은 고순도 용매를 사용하여 챔버 내부의 샘플에서 에칭되는 물질의 얇은 층을 제거합니다. SHIBAURA U ASH8100은 또한 닫힌 루프 시스템을 제공하며, 사용자는 에치 레이트 (etch rate), 에치 깊이 (etch depth) 및 에치 패턴 (etch pattern) 과 같은 원하는 에칭 매개변수를 프로그래밍 할 수 있습니다. 매개변수 (parameters) 가 설정되면, 기계는 원하는 결과를 얻기 위해 에칭 프로세스를 실시간으로 조정합니다. 사용자는 터치 스크린 인터페이스를 통해 에칭 프로세스를 완전히 제어할 수 있습니다. 샘플을 수동으로 조작하기 위해 가공 공구를 기계에 부착할 수도 있습니다. 또한, UASH 8100은 에치 후 (post-etch) 분석 기능을 제공하여 사용자가 에칭 프로세스와 결과 결과를 검토할 수 있도록 합니다. 내장형 비디오 시스템은 에칭 (etching) 프로세스에 대한 실시간 뷰를 제공하여 가능한 모든 이상을 감지할 수 있습니다. 기계는 또한 에칭 과정에서 생성 된 유해 가스로부터 인원을 보호하기 위해 에어 필터, 푸메 후드 (fume hoood), 안개 수집기 (mist collector) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로 U-ASH8100은 실리콘, 갈륨 비소, 쿼츠 등의 재료에서 정확하고 균일 한 에치 패턴을 만들 수있는 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스 및 안전 기능은이 기계를 모든 실험실 기반 연구 (research-based research) 또는 산업 응용에 적합한 선택으로 만듭니다.
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