판매용 중고 SHIBAURA ICE 300S2 #9405824

제조사
SHIBAURA
모델
ICE 300S2
ID: 9405824
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Asher, 12" Gases: O2, N2, NH3 APC Pressure control Strong electric board Atmospheric loader ASYST LP Power supply: KYOSAN Source RF power supply: 5 kW KYOSAN Vias RF power supply: 1 kW 2006 vintage.
SHIBAURA ICE 300S2 (SHIBAURA ICE 300S2) 는 다양한 기판에서 다양한 에칭 작업을 수행하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 머신입니다. 에칭 (etching) 에 대한 다중 영역 (multi-zone) 접근 방식을 통합하여 사용자는 정확한 에치 레시피 (etch recipe) 및 기판 유형을 선택할 수 있으므로 프로세스 실행에 걸친 일관성과 품질이 보장됩니다. ICE 300S2 의 고급 설계는 자동 온도 조절 (automated temperature control) 과 높은 처리량 및 반복성을 위한 고급 카세트 장비를 갖추고 있습니다. 고급 제어 (Advanced Controls) 및 설계를 통해 각 프로세스의 최고 성능과 정확도를 보장할 수 있습니다. SHIBAURA ICE 300S2는 견고하고 정밀하게 설계된 시스템으로, 고급 기능과 이점을 제공하여 품질, 효율성, 비용 효율성을 향상시킵니다. 정밀한 에칭 제어를 위해 3 구역 온도 제어 시스템을 갖춘 고급 열 보상 챔버 (thermal-compensated chamber) 디자인으로 제작되었습니다. 또한 새로운 카세트 장치 (cassette unit) 가 장착되어 기판과 에치 레시피 사이의 빠르고 효율적인 전환이 가능합니다. 이 기계는 또한 높은 에치 레이트 (etch rate) 를 자랑하여 빠른 주기 시간과 높은 수율을 허용합니다. ICE 300S2의 사용 편의성은 운영 안정성과 긍정적 사용자 경험을 보장합니다. 완전 밀폐된 주택과 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 갖춘 사용자는 에치 레시피를 빠르고 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. 또한 부주의한 에치 손상을 방지하기 위해 내장 안전 메커니즘과 경보를 제공합니다. 또한, 에치 레시피 관리 머신 (etch recipe management machine) 은 모든 사용자 설정이 각 에칭 작업에 대해 세심하게 저장되고 최적화되도록 합니다. SHIBAURA ICE 300S2는 또한 광범위한 응용 프로그램을 제공합니다. 사용자는 장치를 사용하여 웨이퍼, 칩, 집적 회로 등 다양한 기판을 에칭할 수 있습니다. 고급 에치 레시피를 사용하면 마퀼리지 기능과 고해상도 패턴이 가능합니다. 또한 HAZMAT 인증을 받았으며 다중 레이어 저항 및 선택적 에치 응용 프로그램이 가능합니다. ICE 300S2는 신뢰할 수 있고 안정적이며 정확한 에치 솔루션입니다. etch 프로세스에서 최대 정밀도와 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 기능과 최첨단 기술로, 가장 까다로운 어플리케이션에서 탁월한 etch 결과를 보장합니다.
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