판매용 중고 SHIBAURA ICE 300 #9405111

SHIBAURA ICE 300은 고정밀 마이크로 패턴화에 사용되는 건식, 화학 보조 플라즈마 시스템입니다. 이 장비는 학계, 마이크로 일렉트로닉 및 바이오 제작에 적합합니다. 반도체, 안경, 도자기와 같은 광범위한 재료에 적합한 다용도, 신뢰성, 사용자 친화적 인 에처/애셔입니다. ICE 300은 13.56MHz 발전기로 제작되어 나노 스케일 (nanoscale) 까지 정확하고 효율적인 재료를 제공합니다. 발전기는 또한 매우 안정적인 압력 제어를 제공하여 정확한 에칭 깊이를 달성 할 수 있습니다. 발전기는 압력 챔버, 아르곤, 산소 및/또는 질소 공급원 및 마이크로 파 증착 시스템에 연결되어 에치 깊이, 마스크 레벨, 에치 각도, 에치 너비의 공구 정확한 조작을 제공합니다. SHIBAURA ICE 300에는 모서리 및 마스크 경계를 정의하는 데 사용되는 전자 빔 건이 있습니다. 원하는 에치 각도를 빠르고 정확하게 설정할 수 있는 Optically Gradient Sample Motion System이 있습니다. 또한 전체 루프 RF (full loop RF) 전원 제어를 통해 사용자가 원하는 에치를 신속하게 달성하고 높은 정확도와 반복성으로 결과를 반복할 수 있습니다. 안전을 위해 ICE 300에는 에칭 및 애싱 (ashing) 과정에서 고에너지 입자가 인원을 때리는 것을 방지하는 반사 창이 있습니다. '클로즈드 루프 (closed-loop)' 프로세스로, 주요 사고를 방지하기 위해 많은 이중화가 이루어집니다. SHIBAURA ICE 300은 알루미나, 실리콘 웨이퍼, SiO2/SiN, 폴리머 및 유기 재료와 같은 다양한 재료를 가져올 수있는 다재다능한 도구입니다. 또한 50 초까지 기능을 포함하여 마이크로 패턴을 제작할 수있는 훌륭한 기회를 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 에처 (etcher) 이며, 이로 인해 마이크로 일렉트로닉스 및 바이오 제작 응용 프로그램에 적합합니다. 결론적으로, ICE 300은 마이크로 일렉트로닉스, 바이오 제작 및 기타 실험실 응용 프로그램에 대한 훌륭한 에처 및 애셔입니다. 이 제품은 정확한 패턴화 (patterning) 와 뛰어난 반복성을 제공하며 다양한 어플리케이션을 위한 안정적이고 사용자 친화적인 툴입니다.