판매용 중고 SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9390624

SHIBAURA ICE 300/CDE 300은 다양한 재료를위한 광범위한 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템에는 AIN 기반 쿼츠 (quartz) 프로세스 캐비닛이 장착되어 있으며, 최소 부식 및 스파이킹이 가능한 고속 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. ICE/CDE 300 단위는 고밀도 폴리에틸렌, 프로필렌 및 피 롤리 틱 흑연과 같은 재료를 에치 및 재로 사용할 수 있습니다. 기계는 사용하기 쉽고, 정확하게 제어 된 에치 레이트 및 프로세스를 허용합니다. ICE/CDE 300 도구는 30 인치 스틸 진공 챔버와 최대 500kg을 장착 할 수있는 스테인리스 스틸 탑 플레이트를 갖추고 있습니다. 방은 비활성 대기 처리를 위해 질소로 채워졌으며, 탈착식 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 부품은 쉽게 유지 관리 및 작동하도록 설계되었습니다. 열 방패 (heat shield) 는 처리 중 주변 온도 제어를 제공하기 위해 포함되며, 챔버 (chamber) 는 잠재적 인 아웃 가스 (outgassing) 를 줄이기 위해 설계되었습니다. SHIBAURA ICE/CDE 300은 다양한 샘플 구성의 요구를 충족하도록 설계되었으며, 다양한 에칭 (etchant) 및 애싱 (ashing) 매체와 호환됩니다. 다양한 구성, 선택 가능, 처리 시간, 온도, 전원 수준 및 가스 흐름을 사용할 수 있습니다. 온도 범위 (20 - 400 ° C) 는 달성 가능하며, 다양한 재료 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대한 최적의 프로세스 매개변수를 보장하도록 다양한 프로세스를 구성 할 수 있습니다. 시바 우라 아이스/CDE 300 (SHIBAURA ICE/CDE 300) 은 스트림 홍수 홍수 가스 전달 자산을 갖추고 있으며, 에칭 및 애싱 사이클 동안 산소 노출 및 기타 공정 가스로 인한 잠재적 부식 및 스파이킹을 최소화하도록 설계되었습니다. 에칭 및 애싱 가스를 다른 비율로 혼합하여 프로세스 유연성을 제공 할 수 있습니다. 이 모델에는 내부 흐름계 (flowmeter) 도 포함되어 있어 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장비는 대부분의 안전 지침 (Safety Guideline) 과 안전 규정 (Safety Regulation) 을 준수하며 사용 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 고급 안전 연동 시스템, 보호 화면, 자동 에칭 및 애싱 시스템, 컴퓨터 처리 컨트롤러, 추가 챔버 구성 요소 등 다양한 옵션 모듈을 사용할 수 있습니다. SHIBAURA ICE/CDE 300은 광범위한 재료를 에칭 및 재싱하기위한 올인원 패키지입니다. 이 제품은 다양한 샘플에 대한 정확하고, 효율적이며, 안전한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공하여 모든 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.